【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例主要涉及集成电路领域，并且更具体地，涉及版图图案生成方法、设备和介质。
技术介绍
1、电路版图(又可以简称为版图)是从设计并模拟优化后的电路所转化成的一系列图形，其包含了集成电路尺寸、各层拓扑定义等器件相关的物理信息数据。在版图的设计中，为了评估或修正所设计的版图，需要大量的各种各样的测试图案。此外，在集成电路的制造中，集成电路制造商为了对现有制造工艺技术进行验证和更先进技术节点的突破，需要各种各样的测试图案来评估工艺制造能力和工艺窗口。
技术实现思路
1、在本公开的第一方面中，提供了一种版图图案生成方法。该方法包括：基于与参考图案有关的至少一个用户输入，确定参考图案中可变化的至少一个图形参数，参考图案包括至少一个版图图形，至少一个图形参数指示至少一个版图图形中的版图图形的几何属性；以及基于至少一个图形参数的取值范围，从参考图案生成多个测试图案。
2、在本公开的第二方面中，提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器、以及与处理器耦合的存储器。该存储器具有存储于其中的...
【技术保护点】
1.一种版图图案生成方法，包括：
2.根据权利要求1所述的版图图案生成方法，还包括：
3.根据权利要求2所述的版图图案生成方法，其中接收针对参考量测标记的配置信息包括：
4.根据权利要求3所述的版图图案生成方法，其中所述多个坐标包括所述参考量测标记的起点的坐标和终点的坐标，并且接收图形绑定指示包括：
5.根据权利要求3所述的版图图案生成方法，还包括：
6.根据权利要求5所述的版图图案生成方法，其中确定所述参考量测标记的类型包括：
7.根据权利要求2所述的版图图案生成方法，还包括：
8....
【技术特征摘要】
1.一种版图图案生成方法，包括：
2.根据权利要求1所述的版图图案生成方法，还包括：
3.根据权利要求2所述的版图图案生成方法，其中接收针对参考量测标记的配置信息包括：
4.根据权利要求3所述的版图图案生成方法，其中所述多个坐标包括所述参考量测标记的起点的坐标和终点的坐标，并且接收图形绑定指示包括：
5.根据权利要求3所述的版图图案生成方法，还包括：
6.根据权利要求5所述的版图图案生成方法，其中确定所述参考量测标记的类型包括：
7.根据权利要求2所述的版图图案生成方法，还包括：
8.根据权利要求7所述的版图图案生成方法，其中...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：全芯智造技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。