一种排风水洗结构及清洗装置制造方法及图纸

本技术公开了一种排风水洗结构及清洗装置，包括：排风腔体，排风腔体连接外部抽气装置，包括底板及侧板，侧板包括平行设置的靴形侧板，及垂直于靴形侧板设置的直侧板和折侧板，靴形侧板、直侧板及折侧板均垂直连接于底板并构成一靴状的排风腔体；其中，折侧板包括自下而上设置的第一侧板、第二侧板及第三侧板，第一侧板和第三侧板平行于直侧板设置，第二侧板呈斜坡面，且第二侧板和第三侧板的连接处设置有第一挡板；直侧板的底部设置有进气口；底板上自折侧板至直侧板依此设置有栅板、第二挡板及出水口；本技术能够防止液化的酸气不会从栅板处回流，从而保证机台不会被污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及排气装置的，尤其涉及一种排风水洗结构。

技术介绍

1、清洗设备在半导体行业中广泛被使用，而排风机构是设备的重要组成部分。将管路中的气体通过排风结构排除，使得管路压力保持在安全范围内，保证设备的安全使用。排风的效率会影响设备的洁净与安全，而气体的液化结晶是影响排风效率的重要因素。结晶体会导致排风机构内的空间不断被压缩，从而影响设备的排风效率。受设备内部的空间限制，无法使用专门的排风设备来实现排风功能。所以需要设备专门的排风结构应用于清洗设备。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术的目的在于提供一种排风水洗结构。

2、为了实现上述目的，本技术采取的技术方案为：

3、一种排风水洗结构，其中，包括：

4、排风腔体，所述排风腔体连接外部抽气装置，包括底板及侧板，所述侧板包括平行设置的靴形侧板，及垂直于所述靴形侧板设置的直侧板和折侧板，所述靴形侧板、所述直侧板及所述折侧板均垂直连接于所述底板并构成一靴状的排风腔体；其中，

5、所述折侧板包括自下而上设置的第一侧板、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种排风水洗结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第一挡板与所述第三侧板的夹角为135度，所述第二挡板垂直于所述底板。

3.根据权利要求1或2中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积的2/3。

4.根据权利要求3中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板和所述第一挡板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积。

5.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述直侧板的底部还设置有进水口，通过所述进水口进入的流动的水带动液化的酸气从所述...

【技术特征摘要】

1.一种排风水洗结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第一挡板与所述第三侧板的夹角为135度，所述第二挡板垂直于所述底板。

3.根据权利要求1或2中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积的2/3。

4.根据权利要求3中所述的排风水洗结构，其特征在于，所述第二侧板和所述第一挡板在所述底板的投影面积至少覆盖所述栅板的面积。

5.根据权利要求1中所述的排风水洗结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐帅华，刘大威，徐铭，李盼盼，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：