【技术实现步骤摘要】
本公开总体上涉及具有支撑结构的存储器装置，更具体地，涉及一种具有位于连接区域中的支撑结构的存储器装置。
技术介绍
1、存储器装置可包括存储数据的存储器单元阵列、被配置为执行存储器单元阵列的编程操作、读操作或擦除操作的外围电路以及被配置为控制外围电路的控制电路。
2、存储器单元阵列可包括多个存储块。当存储块形成为三维结构时，存储块可通过狭缝区域彼此分离。
3、形成为三维结构的存储块可包括存储器单元从基板在垂直方向上层叠的层叠结构。层叠结构可包括交替地层叠的多条选通线和多个绝缘层。当存储块配置有层叠结构时，支撑结构可用于防止层叠结构在存储器装置的制造工艺中被弯曲或破坏。例如，支撑结构可位于单元区域或限定在单元区域的两端的连接区域中。
4、随着存储器装置的集成度增加，包括在单元区域和连接区域中的支撑结构的尺寸减小。因此，可能出现桥接，其中一些支撑结构彼此接触。要彼此电阻断的支撑结构之间出现的桥接是存储器装置中的缺陷，因此，存储器装置的制造工艺的产量可能减少。
技术实现思路
1、实本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种存储器装置，该存储器装置包括：
2.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，所述存储器装置还包括具有三角形形状的间隙，该间隙位于一侧的所述第一突起图案与另一侧的所述连接支撑结构和所述第一倾斜支撑结构之间。
3.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一突起图案和所述第一倾斜支撑结构形成的内角小于90度。
4.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一外支撑结构和所述第一倾斜支撑结构形成的外角大于90度。
5.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一突起图案和所述第一倾斜支撑结构形成的内角与由所述...
【技术特征摘要】
1.一种存储器装置，该存储器装置包括：
2.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，所述存储器装置还包括具有三角形形状的间隙，该间隙位于一侧的所述第一突起图案与另一侧的所述连接支撑结构和所述第一倾斜支撑结构之间。
3.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一突起图案和所述第一倾斜支撑结构形成的内角小于90度。
4.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一外支撑结构和所述第一倾斜支撑结构形成的外角大于90度。
5.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，由所述第一突起图案和所述第一倾斜支撑结构形成的内角与由所述第一外支撑结构和所述第一倾斜支撑结构形成的外角之和为180度。
6.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，所述第一外支撑结构、所述第一突起图案、所述连接支撑结构和所述第一倾斜支撑结构朝着基板穿透位于所述基板上的层叠结构。
7.根据权利要求1所述的存储器装置，该存储器装置还包括：
8.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：金宰浩，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：
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