【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器，属于微纳加工—传感器。
技术介绍
1、激光诱导石墨烯(lig)：近几年，激光诱导石墨烯(lig：laser-induced graphene)制造技术由于其工艺简单、导电性好、成本效益高等优点，在多功能传感器、软致动器、能量收集装置和加热装置等领域获得了越来越多的关注。lig的过程：在对富碳前驱体表面进行激光划片的过程中，前驱体中的化学键会被破坏，释放出气体，从而形成层状多孔lig结构。lig的形成机制主要是激光的光化学效应和光热效应。lig的层状结构使其对外部应变非常敏感，lig的电阻会受到层间距离的影响。基于压阻效应，基于lig的机械传感器检测由于其在外力下的形状变形而引起的电阻变化。
2、复合材料基底(composite substrate)：该传感器采用的电极层为一种复合材料，在pi膜中掺入氯化铜粉末，在激光诱导出石墨烯时还原了铜纳米粒子，使得金属铜纳米粒子附着在石墨烯上，大大增强了导电性，提升了响应速度，从而也增加了灵敏度。
3、复合泡沫(co...
【技术保护点】
1.一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器，其特征在于：包括石墨烯和金属铜的复合材料构成的电极层、含离子附着的泡沫介质层、引线和柔性封装层。
2.如权利要求1所述传感器，其特征在于：所述石墨烯和金属铜的复合材料构成的电极层的制备方法为：采用激光诱导掺铜的PI膜，在诱导石墨烯的同时还原了铜纳米粒子，在得到多孔结构的电极的同时获得很高的电导率。
3.如权利要求1所述传感器，其特征在于：所述离子附着的泡沫介质层的制备方法为：通过在pu泡沫上附着离子，使得其电容容量增大，提高响应速度，得到高灵敏度的介质层。
4.如权利要求2所述传感器...
【技术特征摘要】
1.一种全多孔结构超高灵敏度电容式柔性压力传感器，其特征在于：包括石墨烯和金属铜的复合材料构成的电极层、含离子附着的泡沫介质层、引线和柔性封装层。
2.如权利要求1所述传感器，其特征在于：所述石墨烯和金属铜的复合材料构成的电极层的制备方法为：采用激光诱导掺铜的pi膜，在诱导石墨烯的同时还原了铜纳米粒子，在得到多孔结构的电极的同时获得很高的电导率。
3.如权利要求1所述传感器，其特征在于：所述离子附着的泡沫介质层的制备方法为：通过在pu泡沫上附着离子，使得其电容容量增大，提高响应速度，得到高灵敏度的介质层。
4.如权利要求2所述传感器，其特征在于：激光加工采用钛-蓝宝石振荡级飞秒激光器，输出功率达3....
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