半导体器件的封装结构、封装方法及计算设备技术

技术编号:43334622 阅读:12 留言:0更新日期:2024-11-15 20:31
本申请实施例提供一种半导体器件的封装结构、封装方法及计算设备,所述封装结构包括:基板;键合于基板上的至少一个芯片;在基板上环绕芯片的支撑结构,支撑结构与芯片的侧壁之间具有流体材料容纳空间,且支撑结构的顶面高于芯片的顶面;填充于流体材料容纳空间内的流体散热材料;在基板上覆盖支撑结构的包括顶面结构和侧壁结构的封装构件,顶面结构包括中心区和环绕中心区的边缘区,在中心区,顶面结构朝向基板一侧设置有液位调节腔;边缘区,顶面结构朝向基板一侧与支撑结构的顶面相接,以使得顶面结构与支撑结构朝向基板一侧形成与液位调节腔连通的目标容纳空间,从而提升半导体器件的封装结构中热界面材料的覆盖率,提高其散热效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请实施例涉及半导体,具体涉及一种半导体器件的封装结构、封装方法及计算设备


技术介绍

1、随着半导体器件制造工艺的不断发展和芯片算力密度需求的迅速增加,芯片的功耗和功耗密度也相应地不断的攀升,芯片的散热挑战也随之显著增大,因此芯片散热技术是制约芯片设计及应用的关键因素之一。其中,为改善半导体器件的封装结构内部的散热性能,可以通过在芯片与顶部结构之间填充具有良好热导率的热界面材料(tim,thermalinterface material),例如:液态金属tim(liquid metal tim),以及在顶部结构上设置散热器,对芯片实现散热。

2、然而,当芯片与顶部结构之间填充具有流动性的tim热界面材料,且在顶部结构上设置散热器时,基于芯片的上、下两层应力不均,容易导致芯片发生翘曲,从而泄露填充的tim热界面材料,导致tim热界面材料对于芯片的覆盖率难以保证,其中,覆盖率是指热界面材料实际覆盖芯片的面积与芯片表面总面积之比。从而,影响芯片的热量传递,降低半导体器件的封装结构的散热效果。在此背景下,如何提升半导体器件的封装结构中热界面材料的覆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件的封装结构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述液位调节腔内补充有流体散热材料。

3.根据权利要求2所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述液位调节腔的设置数量为一个或多个,且所述液位调节腔基于所述芯片的四个角对应设置;

4.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述支撑结构与所述芯片的侧壁之间还包括:粘合结构,所述粘合结构环绕所述芯片侧壁。

5.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,还包括:

6.一种半导体器件的封装方法,其特征...

【技术特征摘要】

1.一种半导体器件的封装结构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述液位调节腔内补充有流体散热材料。

3.根据权利要求2所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述液位调节腔的设置数量为一个或多个,且所述液位调节腔基于所述芯片的四个角对应设置;

4.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,所述支撑结构与所述芯片的侧壁之间还包括:粘合结构,所述粘合结构环绕所述芯片侧壁。

5.根据权利要求1所述的半导体器件的封装结构,其特征在于,还包括:

6.一种半导体器件的封装方法,其特征在于,包括:

7.根据权利要求6所述的半导体器件的封装方法...

【专利技术属性】
技术研发人员:王虎艾长胜张雅文郭健炜
申请(专利权)人:北京平头哥信息技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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