一种压边装置制造方法及图纸

本技术公开一种压边装置，包括固定架、第一升降驱动件、第二升降驱动件、第三升降驱动件、第一压边件、第二压边件、第三压边件和控制器，控制器与第一升降驱动件、第二升降驱动件和第三升降驱动件信号连接，控制器被配置为控制第一升降驱动件驱动第一压边件移动按压工件的边缘、控制第二升降驱动件驱动第二压边件移动按压工件的边缘和控制第三升降驱动件驱动第三压边件移动按压工件的边缘。由于设有升降驱动件和压边件，升降驱动件可以驱动压边件按压工件的边缘，工件在真空吸附时，压边件可以消除工件的自身翘曲，让工件处于更为平整的状态，避免了真空吸附出现缝隙漏气，使得工件可以被稳定的真空吸附，有利于工件后续的检测和转移。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空吸附辅助装置，具体涉及一种压边装置。

技术介绍

1、圆片工件检测设备常采用真空卡盘来吸平待检测的圆片工件。圆片工件因为生产工艺原因会产生翘曲。当翘曲的圆片工件放置于真空卡盘表面后，如果没有外力协助，两者之间会存在缝隙，由于缝隙漏气导致两者之间无法建立真空，进而导致真空卡盘无法吸平圆片工件。因此，急需一种可以辅助真空卡盘吸平翘曲圆片工件的装置。

技术实现思路

1、本技术提供一种压边装置，用于解决圆片工件因自身翘曲而无法被真空卡盘吸平的问题。

2、一种实施例中提供一种压边装置，包括：

3、固定架；

4、安装于所述固定架的第一升降驱动件、第二升降驱动件和第三升降驱动件；

5、第一压边件，所述第一压边件与所述第一升降驱动件连接，所述第一升降驱动件用于驱动所述第一压边件移动；

6、第二压边件，所述第二压边件与所述第二升降驱动件连接，所述第二升降驱动件用于驱动所述第二压边件移动；

7、第三压边件，所述第三压边件与所述第三升降驱动件连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压边装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件、所述第二压边件和所述第三压边件分布于不同区域，以按压三种不同尺寸工件的边缘。

3.如权利要求2所述的压边装置，其特征在于，所述控制器被配置为控制第一升降驱动件、所述第二升降驱动件和所述第三升降驱动件独立升降移动。

4.如权利要求2所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件、所述第二压边件和所述第三压边件为圆环形或方环形，所述第二压边件位于所述第三压边件的内侧，所述第一压边件位于所述第二压边件的内侧。

5.如权利要求4所述的压边装置，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种压边装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件、所述第二压边件和所述第三压边件分布于不同区域，以按压三种不同尺寸工件的边缘。

3.如权利要求2所述的压边装置，其特征在于，所述控制器被配置为控制第一升降驱动件、所述第二升降驱动件和所述第三升降驱动件独立升降移动。

4.如权利要求2所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件、所述第二压边件和所述第三压边件为圆环形或方环形，所述第二压边件位于所述第三压边件的内侧，所述第一压边件位于所述第二压边件的内侧。

5.如权利要求4所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件用于按压6寸工件的边缘，所述第二压边件用于按压8寸工件的边缘，所述第三压边件用于按压12寸工件的边缘。

6.如权利要求4所述的压边装置，其特征在于，所述第一压边件的中部设有第一安装部，所述第一压边件通过所述第一安装部连接一个所述第一升降驱动件；

7.如权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈贵龙，张鹏斌，董坤玲，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：