一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道及其制备方法技术

本发明专利技术属于薄膜传感器技术领域，公开了一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道及其制备方法，液压管道本体的表面设有绝缘层，绝缘层的表面设有应变敏感层，应变敏感层具有应变传感器结构，应变敏感层的表面设有保护层。本发明专利技术液压管道和薄膜应变传感器是一体结构，因此无需使用胶，进而不会破坏原有振动特性，利用应变敏感层中的应变传感器结构能够精确检测液压管道本体的应变，相对于现有技术，本发明专利技术所测得的应变误差相对较小，而且薄膜应变传感器是原位加工在液压管道本体表面的，因而能够实现航空液压管道等曲面部件的表面应变、振动等状态参数的原位监测，为航空液压管道健康监测提供更加准确的数据支撑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于薄膜传感器，具体涉及一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道及其制备方法。

技术介绍

1、飞机液压管道是飞控和航空的关键部件。现代大型客机液压管道网络具有“长、散、杂”的特点，全机管道数量多、长度长、壁厚薄；空间形态各异，遍布全机；且其载荷环境恶劣多变(振动过载超过200g、工作温度-40℃～135℃)。液压管道影响液压系统的工作性能及寿命，事关飞行安全。然而，传统的航空液压管道振动及应变监测常依赖于振动加速度传感器及胶合式应变传感器，其存在安装复杂、破坏原有振动特性、误差大等问题，严重制约了液压管道系统的监测。

2、针对曲面上图形化薄膜传感器的应变敏感栅技术，掩模版无法与被加工结构件完全贴合，导致制备的应变敏感栅图案与掩模版上待转移图案尺寸不一致或线宽不均，且局部位置可能存在衍射现象，影响了该方法的准确性和薄膜传感器的输出性能。中国专利cn116904922a提出一种用于制备应变敏感栅薄膜的金属掩膜压紧结构，通过加工特殊的压紧结构来解决掩模版在曲面构件上的应用难题，但其配套的压紧结构制备复杂。中国专利cn116024570a本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，包括液压管道本体(1)，液压管道本体(1)的表面设有绝缘层，所述绝缘层的表面设有应变敏感层(4)，所述应变敏感层(4)具有应变传感器结构，应变敏感层(4)的表面设有保护层。

2.根据权利要求1所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，所述绝缘层包括非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)和氧化铝绝缘层(3)，所述非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)沉积于液压管道本体(1)表面；所述氧化铝绝缘层(3)沉积于所述非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)表面。

3.根据权利要求2所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航...

【技术特征摘要】

1.一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，包括液压管道本体(1)，液压管道本体(1)的表面设有绝缘层，所述绝缘层的表面设有应变敏感层(4)，所述应变敏感层(4)具有应变传感器结构，应变敏感层(4)的表面设有保护层。

2.根据权利要求1所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，所述绝缘层包括非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)和氧化铝绝缘层(3)，所述非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)沉积于液压管道本体(1)表面；所述氧化铝绝缘层(3)沉积于所述非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)表面。

3.根据权利要求2所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，所述非晶氮氧化铝扩散阻挡层(2)厚度为100nm～150nm；氧化铝绝缘层(3)厚度为400nm～1μm。

4.根据权利要求1所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，所述应变传感器结构包括：用于测量液压管道本体(1)轴向应变的第一应变敏感单元，用于测量液压管道本体(1)径向应变的第二应变敏感单元，以及与所述第一应变敏感单元和第二应变敏感单元连接的焊盘(6)。

5.根据权利要求4所述的一种具有原位振动/应变监测功能的航空液压管道，其特征在于，所述第一应变敏感单元采用应变敏感栅，第二应变敏感单元采用应变敏感栅，应变敏感栅的线宽为9...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗国希，张玉卓，欧阳双如，薛冲，赵立波，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：