【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及玻璃通孔刻蚀监测，尤其涉及一种电动玻璃通孔刻蚀监测机器人及其监测方法、系统。
技术介绍
1、玻璃通孔刻蚀是微电子和微流控领域的关键工艺。目前，主流技术结合了超快激光处理和化学刻蚀。首先使用超快激光在玻璃表面创建微小的改性区域，然后使用低浓度的氢氟酸进行选择性刻蚀，以形成所需的通孔结构。刻蚀过程受多个因素影响，包括玻璃材料的均匀性、激光参数的微小波动、环境条件(如温度和湿度)等。这些因素导致即便在相同的激光参数下，不同位置或不同批次的通孔也可能表现出显著差异。
2、而现有的质量控制方法主要依赖于人工通过电脑进行实时观察和管控。操作员需要持续监视刻蚀过程，根据经验判断通孔的形成情况，并适时调整刻蚀参数或终止过程，即使使用图像处理和机器学习技术辅助检测过程，由于监测系统多为被动监测，难以实现对刻蚀参数的及时优化调整，且难以适应不同尺寸和形状的玻璃样品。
3、因此，寻找一种既能够自动移动、实时监测刻蚀情况，又能够自动调整相机位置的监测方法，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技<本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，步骤S1具体包括：
3.如权利要求2所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述路径规划具体包括：
4.如权利要求3所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述自适应控制算法具体包括：
5.如权利要求1所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述玻璃通孔图像检测具体包括：
6.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，步骤s1具体包括：
3.如权利要求2所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述路径规划具体包括：
4.如权利要求3所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述自适应控制算法具体包括：
5.如权利要求1所述的一种基于电动玻璃通孔刻蚀监测机器人的监测方法，其特征在于，所述玻璃通孔图像检测具体包括：
6.如权利要求1所述的一种基于电动玻璃通孔刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：东芳，欧阳宇航，侯冬杨，吕婷，雷振扬，刘胜，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：
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