一种射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及射频技术领域，具体是涉及一种射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质。本发明专利技术首先在射频源的不同脉冲周期内构建不同理想匹配电容值，在单个脉冲周期内，将匹配器的可变电容器的电容值固定为该理想电容值，也就是在单个脉冲周期内都保持可变电容器的不变，在单个脉冲周期内一旦因射频源的功率发生变化而导致匹配器失去匹配状态，本发明专利技术通过调整射频源的频率而使得匹配器恢复匹配状态。从上述分析可知，本发明专利技术在不同脉冲周期内通过构建不同理想匹配电容值，在单个脉冲周期内用调整频率替代机械式调整可变电容器，能够精准地将匹配器调整到每个功率所对应的匹配状态，从而使得匹配器能实现更大负载范围内的几十微秒内的匹配。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及射频，具体是涉及一种射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质。

技术介绍

1、射频源通过射频匹配器将信号传输至负载，射频匹配器的主要作用是使得射频源的信号最大化的传输到负载上，也就是射频匹配器处于匹配状态时，射频匹配器能够最大化的将射频源的信号传输到负载上。射频源在一个周期(也就是射频源输入给匹配器的信号功率构成的周期)内会出现若干个不同的功率，针对每个不同的功率都要机械式的调整匹配器上的可变电容器的电容值，才能将匹配器调整至匹配状态。当功率一旦发生变化，匹配器就会失去匹配状态。因为由于功率在一个周期内是不断变化，而每个功率持续的时间又很短，因此难以在很短的时间内将可变电容器调整至匹配状态所需要的电容值，也就是针对每个不同的功率，难以将匹配器精准调整至匹配状态。

2、综上所述，现有技术难以精准地将匹配器调整到每个功率所对应的匹配状态。

3、因此，现有技术还有待改进和提高。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质，解决本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种射频匹配器的匹配方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述构建射频匹配器的可变电容器的理想电容值，包括：

3.如权利要求2所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述确定与所述射频源的若干个功率等级相对应的所述射频匹配器的理想电容子值，包括：

4.如权利要求3所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述确定与每个所述功率等级相对应的所述射频匹配器的匹配子程度，包括：

5.如权利要求4所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述依据与每个所述功率等级相对应的所述总阻抗值和所述反射功率，得到与...

【技术特征摘要】

1.一种射频匹配器的匹配方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述构建射频匹配器的可变电容器的理想电容值，包括：

3.如权利要求2所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述确定与所述射频源的若干个功率等级相对应的所述射频匹配器的理想电容子值，包括：

4.如权利要求3所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述确定与每个所述功率等级相对应的所述射频匹配器的匹配子程度，包括：

5.如权利要求4所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述依据与每个所述功率等级相对应的所述总阻抗值和所述反射功率，得到与每个所述功率等级相对应的匹配子程度，包括：

6.如权利要求2所述的射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述可变电容器包括第一可变电容器与所述第一可变电容器相连接的第二可变电容器，若干个所述理想电容子值包括所述第一可变电容器的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴韦，
申请(专利权)人：深圳捷迅通射频技术有限公司，
类型：发明
国别省市：