一种大功率LED用高环境稳定性反射电极材料的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种大功率LED用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，涉及光电子器件技术领域。本发明专利技术先使用准分子激光退火工艺制备多晶硅衬底，能使得多晶硅生长底层的晶粒充分生长，降低粗糙度和改善电压不均匀的问题。其次，在多晶硅层衬底表面形成双层石墨烯薄膜，将Ag3Sn掺杂入双层石墨烯，和双层石墨烯发生相互作用；这会导致C‑C键键长增加键能减弱，在各种环境中保证led电极高功率使用的稳定性；然后快速退火使得多晶硅表面与金属Ag3Sn相互扩散，反应缓慢且平衡；此外又利用石墨烯的导热性形成温度梯度，从而减少电极的热效应，再辅以高温高压提高双层石墨烯与多晶硅、掺杂金属之间的耦合性。本发明专利技术制备的电极材料具有稳定的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电子器件，具体为一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法。

技术介绍

1、发光二极管是一种可直接将电能高效转化为光能的新型固态光源，与传统光源相比具有寿命长、体积小、节能、高效、响应速度快、抗震、无污染等优点，是继白炽灯、荧光灯之后的新一代半导体照明光源，目前已成为推进经济迅速发展的绿色产业。但由于led芯片封装的影响，通常只有正面出射的光能得到有效地利用，而底面和侧面逸出的光需通过反光杯反射至正面。为了避免芯片与反光杯之间固晶材料对光的吸收，可在芯片衬底的背面制备高反射率背电极。

2、石墨烯具有优良的电学性能和光学性能，因此被期待可用来发展更薄、导电速度更快的新一代电子元件、晶体管和光电器件。双层石墨烯是由两层碳原子层组成，由于原子层间的耦合作用，能带结构将出现带隙，使石墨烯在光电子领域有着广泛的应用前景。通过石墨烯、多晶硅、ag合金之间的协同作用，将金属与半导体材料掺杂容易导致材料的不稳定性与散热性较差的问题。为了解决以上问题，本专利技术提供了一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法。

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【技术保护点】

1.一种大功率LED用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

2.根据权利要求1所述的一种大功率LED用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中镀锡液的组份为：3-4份硫酸亚锡、18-22份浓硫酸、3份氰化镀锌光亮剂以及100份去离子水。

3.根据权利要求1所述的一种大功率LED用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中镀银液的组份为：4-5份硝酸银、9-11份烟酸、7-8份醋酸铵、4.5-5.5份氢氧化钾、7-8份碳酸钾7、3-4份浓度为的27wt%氨水与100份去离子。

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【技术特征摘要】

1.一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

2.根据权利要求1所述的一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中镀锡液的组份为：3-4份硫酸亚锡、18-22份浓硫酸、3份氰化镀锌光亮剂以及100份去离子水。

3.根据权利要求1所述的一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中镀银液的组份为：4-5份硝酸银、9-11份烟酸、7-8份醋酸铵、4.5-5.5份氢氧化钾、7-8份碳酸钾7、3-4份浓度为的27wt%氨水与100份去离子。

4.根据权利要求1所述的一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中ag3sn薄膜的厚度约0.8μm。

5.根据权利要求1所述的一种大功率led用高环境稳定性反射电极材料的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中氯化氙准分子激光器的波长为308nm，激光线性光束宽度尺寸为300μm，激光脉冲频率为300hz，激...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云鹏，
申请(专利权)人：方博科技常州有限公司，
类型：发明
国别省市：