预热环及气相沉积设备制造技术

本申请提供一种预热环及气相沉积设备。气相沉积设备包括基座和框体。框体设有反应腔室。基座位于反应腔室内，且将反应腔室分隔为第一腔室和第二腔室。框体设有第一进气通道，第一进气通道连通第一腔室和框体的外部。基座和框体围出第一连接通道。第一连接通道位于基座和第一进气通道之间。第一连接通道连通第一腔室和第二腔室。第一连接通道包括出气段。出气段连通第一腔室。出气段的中心轴与第一进气通道的中心轴呈锐角设置或者方向相同，出气段的出口朝向远离第一进气通道的一侧。环境气体进入第一腔室时，环境气体的流向与反应气体的流向之间夹角较小，环境气体对反应气体的流向影响较小，反应气体流动较平稳，沉积的薄膜边缘的成膜质量较佳。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及气相沉积，尤其涉及一种预热环及气相沉积设备。

技术介绍

1、气相沉积设备的反应腔室被基座分隔为第一腔室和第二腔室，基座与周边结构具有间隙，环境气体可以经间隙从第二腔室进入第一腔室，环境气体接触到第一腔室内的反应气体后，导致反应气体流动十分不稳定，造成反应气体沉积的薄膜边缘成膜质量差。

技术实现思路

1、本申请提供一种成膜边缘质量较佳的预热环及气相沉积设备。

2、第一方面，本申请提供一种气相沉积设备。气相沉积设备包括基座和框体，框体设有反应腔室，基座位于反应腔室内，且将反应腔室分隔为第一腔室和第二腔室，框体设有第一进气通道，第一进气通道连通第一腔室和框体的外部，基座和框体围出第一连接通道，第一连接通道位于基座和第一进气通道之间，第一连接通道连通第一腔室和第二腔室。第一连接通道包括出气段，出气段连通第一腔室，出气段的中心轴与第一进气通道的中心轴呈锐角设置或者方向相同，出气段的出口朝向远离第一进气通道的一侧。

3、可以理解的是，出气段的中心轴可以与第一进气通道的中心轴呈锐角设置或者本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气相沉积设备(1000)，其特征在于，包括基座(100)和框体(700)，所述框体(700)设有反应腔室(310)，所述基座(100)位于所述反应腔室(310)内，且将反应腔室(310)分隔为第一腔室(301)和第二腔室(302)，所述框体(700)设有第一进气通道(303)，所述第一进气通道(303)连通所述第一腔室(301)和所述框体(700)的外部，所述基座(100)和所述框体(700)围出第一连接通道(900)，所述第一连接通道(900)位于所述基座(100)和所述第一进气通道(303)之间，所述第一连接通道(900)连通所述第一腔室(301)和所述第二腔室(302)；<...

【技术特征摘要】

1.一种气相沉积设备(1000)，其特征在于，包括基座(100)和框体(700)，所述框体(700)设有反应腔室(310)，所述基座(100)位于所述反应腔室(310)内，且将反应腔室(310)分隔为第一腔室(301)和第二腔室(302)，所述框体(700)设有第一进气通道(303)，所述第一进气通道(303)连通所述第一腔室(301)和所述框体(700)的外部，所述基座(100)和所述框体(700)围出第一连接通道(900)，所述第一连接通道(900)位于所述基座(100)和所述第一进气通道(303)之间，所述第一连接通道(900)连通所述第一腔室(301)和所述第二腔室(302)；

2.根据权利要求1所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述第一连接通道(900)还包括进气段(930)，所述进气段(930)连通所述第二腔室(302)和所述出气段(940)，所述进气段(930)的中心轴和所述出气段(940)的中心轴呈夹角设置。

3.根据权利要求1所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述第一连接通道(900)还包括进气段(930)，所述进气段(930)连通所述第二腔室(302)和所述出气段(940)，所述进气段(930)的中心轴方向和所述出气段(940)的中心轴方向相同。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述框体(700)设有出气通道(304)，所述出气通道(304)连接所述第一腔室(301)和所述框体(700)的外部；

5.根据权利要求4所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述第一连接通道(900)连通所述第二连接通道(600)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述第一连接通道(900)的宽度为g1，所述第二连接通道(600)的宽度为g2，g2和g1的关系满足：g2＞g1。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述气相沉积设备(1000)还包括第一凸块(810)和/或第二凸块(820)，所述第一凸块(810)连接于所述框体(700)，且位于所述第一连接通道(900)内，所述第二凸块(820)连接于所述基座(100)，且位于所述第一连接通道(900)内。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述框体(700)包括壳体(300)和预热环(200)，所述预热环(200)可拆卸的连接于所述壳体(300)，所述第一进气通道(303)位于所述壳体(300)，所述预热环(200)位于所述基座(100)和所述壳体(300)之间，所述预热环(200)和所述基座(100)围出所述第一连接通道(900)。

9.根据权利要求8所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述预热环(200)包括本体部(210)和延伸部(220)，所述本体部(210)连接于所述壳体(300)的内表面，所述延伸部(220)凸设于所述本体部(210)的内侧面(211)，所述本体部(210)的内侧面(211)朝向所述基座(100)，所述本体部(210)和所述基座(100)围出所述第一连接通道(900)的进气段(930)，所述延伸部(220)和所述基座(100)围出所述第一连接通道(900)的出气段(940)。

10.根据权利要求9所述的气相沉积设备(1000)，其特征在于,所述延伸部(220)位于所述基座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：范梓豪，于源源，汪涵，刘顺，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：