【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电化学，尤其涉及一种控制电路及电化学加工设备。
技术介绍
1、现有的电化学加工设备在进行脉冲化学反应时，通过脉冲信号产生装置输出高频脉冲信号。
2、当脉冲信号产生装置未输出高频脉冲信号时，电化学加工设备的电化学工艺槽内容易发生原电池反应，进而导致无法有效地控制化学反应过程。此外，原电池电压也会对高频脉冲信号的正常工作产生影响。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种控制电路及电化学加工设备，能够避免电化学工艺槽的原电池反应。
2、第一方面，本专利技术提供了一种控制电路，应用在电化学加工设备中，耦接在所述电化学加工设备的脉冲信号产生装置与电化学工艺槽之间，其中：所述控制电路，适于在接收到所述脉冲信号产生装置输出的第一脉冲信号时导通，以使得所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间形成电流通路；以及，在未接收到所述第一脉冲信号时断开所述脉冲信号产生装置与所述电化学工艺槽之间的电流通路。
3、电化学加工设备包括脉冲信号产生装置、电化学工艺...
【技术保护点】
1.一种控制电路，其特征在于，应用在电化学加工设备中，耦接在所述电化学加工设备的脉冲信号产生装置与电化学工艺槽之间，其中：
2.如权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括电容结构；所述电容结构的第一端与所述脉冲信号产生装置的第一端耦接，所述电容结构的第二端与所述电化学工艺槽的第一极耦接。
3.如权利要求2所述的控制电路，其特征在于，所述电容结构的电容值可调，且所述电容结构的电容值关联于所述电化学工艺槽所需的目标脉冲信号的占空比。
4.如权利要求2或3所述的控制电路，其特征在于，还包括：电流检测单元，耦接在所述电容结构的...
【技术特征摘要】
1.一种控制电路，其特征在于，应用在电化学加工设备中，耦接在所述电化学加工设备的脉冲信号产生装置与电化学工艺槽之间，其中：
2.如权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括电容结构；所述电容结构的第一端与所述脉冲信号产生装置的第一端耦接，所述电容结构的第二端与所述电化学工艺槽的第一极耦接。
3.如权利要求2所述的控制电路，其特征在于，所述电容结构的电容值可调，且所述电容结构的电容值关联于所述电化学工艺槽所需的目标脉冲信号的占空比。
4.如权利要求2或3所述的控制电路，其特征在于，还包括：电流检测单元，耦接在所述电容结构的第二端与所述电化学工艺槽的第一极之间，适于检测所述电容结构的输出电流。
5.如权利要求2或3所述的控制电路，其特征在于，还包括：放电电路，耦接在所述电容结构的第一端与所述电容结构的第二端之间，适于在所述电容结构的第一端的输入电平为低电平时，释放所述电容结构存储的电荷。
6.如权利要求5所述的控制电路，其特征在于，所述放电电路包括：反相器以及第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘强，王诗男，
申请(专利权)人：上海集成电路材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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