一种晶圆金属载具连续成型模制造技术

本技术公开了一种晶圆金属载具连续成型模，具体涉及连续成型模领域，包括成型模本体，还包括：所述成型模本体的内壁两侧活动设有可以将载具进行牢稳固定的夹持固定装置，用于通过两侧夹持将晶圆金属载具进行模具内部的固定，减少震动偏差的问题；所述成型模本体的下端固定设有支撑脚；所述成型模本体的两侧开设有侧面穿孔槽，所述成型模本体的下端开设有底部穿孔槽。本技术通过设有夹持固定装置，有利于通过两侧夹持将晶圆金属载具进行模具内部的固定，整体的工作顺序将晶圆载具防止在成型模本体内侧，通过夹持固定装置进行两侧的固定夹持，通过底部穿孔槽和侧面穿孔槽进行使用穿孔装置打孔，因此实现连接成型的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及连续成型模，更具体地说，本实用涉及一种晶圆金属载具连续成型模。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆载具是用来在加工制程中以及工厂之间晶圆的存储、传送、运输以及防护。晶圆载具种类很多，且各有应用，如前开式晶圆传送盒foup可用于制造工厂内半导体制程中，前开式晶圆运输盒fosb可用于制造工厂之间的运输，晶片花篮可用于晶片的清洗等，在晶圆金属载具加工生产时，需要用到成型模具进行原材料的固定加工，因此提出一种晶圆金属载具连续成型模。

2、现有的一种晶圆金属载具连续成型模，通常采用简单的固定，从而进行载具的穿孔打磨，但是在打磨过中产生的振动容易导致载具位置发生偏差，从而导致穿孔打磨方向偏斜。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种晶圆金属载具连续成型模，本专利技术所要解决的技术问题是：能够将载具进行牢稳固本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆金属载具连续成型模，包括成型模本体(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述夹持固定装置(2)包括移动板(21)，所述移动板(21)一侧固定设有橡胶条(22)，所述移动板(21)另一侧固定设有限位柱(23)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述限位柱(23)外表面活动设有限位筒(24)，所述限位筒(24)固定贯穿在成型模本体(1)两侧。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述移动板(21)一侧固定设有活动连接件(27)，所...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆金属载具连续成型模，包括成型模本体(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述夹持固定装置(2)包括移动板(21)，所述移动板(21)一侧固定设有橡胶条(22)，所述移动板(21)另一侧固定设有限位柱(23)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述限位柱(23)外表面活动设有限位筒(24)，所述限位筒(24)固定贯穿在成型模本体(1)两侧。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆金属载具连续成型模，其特征在于：所述移动板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丽芸，徐正林，
申请(专利权)人：昆山市广源行金属工业有限公司，
类型：新型
国别省市：