一种用于半导体生产用的切片装置制造方法及图纸

技术编号:43292769 阅读:25 留言:0更新日期:2024-11-12 16:11
本技术公开了一种用于半导体生产用的切片装置,包括基座;所述基座上固定有n形固定架,所述n形固定架内活动设置有升降臂,所述升降臂底部安装有用于晶圆切片的切片机,所述n形固定架顶端固定安装有电机,所述电机的输出轴连接有能够伸缩调节的驱动臂,所述驱动臂远离电机的一端旋转连接有连接臂,所述连接臂的另外一端与升降臂旋转连接。本技术可实现连续切片操作,提高切片效率,且具备调节功能,适用于不同口径晶圆的切片操作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及切片,具体为一种用于半导体生产用的切片装置


技术介绍

1、半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,在生产过程中,一个晶圆要经历三次的变化过程,才能成为一个真正的半导体芯片:首先,是将块儿状的铸锭切成晶圆;在第二道工序中,通过前道工序要在晶圆的正面雕刻晶体管;最后,再进行封装,即通过切割过程,使晶圆成为一个完整的半导体芯片。

2、现有技术中,申请号为202021137708.9的技术公开了一种用于半导体生产用的切片装置,该技术通过设置有第二电机,第二电机的运行即可带动凸轮的转动,凸轮的转动即会作用于矩形块,矩形块的底部安装有固定杆,固定杆连接有连接板,第一滑块和第二滑块就会在其作用下往下移动,在弹簧的作用下会有规律的上下移动,这样切片机就能对半导体进行自动切片,该切片技术虽然实现了自动切片,提高了切片效率,但是不难发现,采用凸轮转动驱使切片机下移切片的方式,其切片机下移切片的距离受凸轮尺寸的限制为固定值,进而,在对尺寸较大的晶圆切片时,就难以保证完全切割,降低了该装置的适用性,为此,本申本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体生产用的切片装置,包括基座(1),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产用的切片装置,其特征在于:所述基座(1)上表面开设有进料槽(5)和落料槽(6),所述进料槽(5)沿基座(1)长度方向分布且与落料槽(6)连通,所述切片机(4)位于落料槽(6)上方靠近进料槽(5)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产用的切片装置,其特征在于:所述基座(1)远离落料槽(6)的一端固定有支架(7),所述支架(7)上固定有电动推杆(8),所述电动推杆(8)沿进料槽(5)长度方向设置,所述电动推杆(8)的伸缩端固定有推板(9),所述推板...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体生产用的切片装置,包括基座(1),其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产用的切片装置,其特征在于:所述基座(1)上表面开设有进料槽(5)和落料槽(6),所述进料槽(5)沿基座(1)长度方向分布且与落料槽(6)连通,所述切片机(4)位于落料槽(6)上方靠近进料槽(5)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产用的切片装置,其特征在于:所述基座(1)远离落料槽(6)的一端固定有支架(7),所述支架(7)上固定有电动推杆(8),所述电动推杆(8)沿进料槽(5)长度方向设置,所述电动推杆(8)的伸缩端固定有推板(9),所述推板(9)与进料槽(5)滑动嵌合。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产用的切片装置,其特征在于:所述进料槽(5)内部两侧壁上均活动嵌装有调节块(10),所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:高乾陈银定
申请(专利权)人:徐州盈胜微半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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