【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅基电子特气用的过滤器，具体涉及一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统。
技术介绍
1、电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅等是主要的硅基电子特气，可用于硅外延生长和大规模集成电路硅外延的硅源，是性能优异的低温硅淀积的源材料，应用广泛，需求量大，同时其产品质量要求也比较苛刻。硅基电子特气中的颗粒物会引起成膜的均匀性变差，甚至引起短路，严重影响良品率，硅基电子特气对颗粒度的控制必不可少，需用精密过滤器进行颗粒物的去除，而且硅基电子特气遇到水分会生成盐酸和二氧化硅颗粒，且有较强的腐蚀性，因此，在对精密过滤器更换滤芯后，需要过滤器的系统进行检修置换。
2、相关技术中，现有的硅基电子特气精密过滤器检修置换的主要难点为：①、硅基电子特气有毒有害，腐蚀性强，物料不能直接进行对空排放和吹扫置换；②、目前精密过滤器设计与硅基电子气产品不完全匹配，过滤器内部和进出口管道存在置换死角，折叠滤芯比表面积大，难以彻底置换；③、滤芯更换后，因置换不彻底，产品颗粒度在投用初期会明显偏高，影响产品质量，需要大量的产品进行冲洗，精密过滤器检修对产品质量和生产成本影响大，不利影响的持续时间长。
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术上存在的问题，本技术旨在提供一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统。
2、本技术的目的之一是提供一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，包括过滤器本体，所述过滤器本体包括壳体和设置在壳体内的滤芯，进料阀通过进料管道与壳体相连，滤芯出料侧通过出
3、进料管道，用于向过滤器本体供应物料，在进料管道上设置有第一废液接口；
4、所述过滤器本体的壳体底部设置有第二废液接口；所述壳体顶部连接有进气口；
5、出料管道，用于排出经过滤器本体过滤后的物料，在出料管道上设置有第三废液接口和检测接口，在出料管道的出料侧设置有出料阀；
6、废液罐；所述废液罐的进料口分别与所述第一废液接口、第二废液接口和第三废液接口相连，用于存放由对应废液接口排出的废液；
7、保护气源，所述保护气源与所述壳体的进气口相连，用于对过滤器本体、进料管道、出料管道进行保护气的供应并对其进行置换；
8、颗粒度测试仪；连接在出料管道上的所述检测接口上，用于对经出料管道排出的过滤后物料进行颗粒度检测；
9、真空泵，所述真空泵分别通过管路与第一废液接口、第二废液接口和第三废液接口连通，用于对过滤器本体、进料管道和出料管道抽真空以进行置换。
10、作为优选方案，所述进料阀与过滤器本体之间的进料管道上设置有第一压力表，用于检测进料管道处的压力；所述过滤器本体与出料阀之间的出料管道上设置有第二压力表，用于检测出料管道处的压力。
11、作为优选方案，所述第一废液接口与废液罐的管道上设置有第一废液阀；
12、所述第二废液接口与废液罐的管道上设置有第二废液阀；
13、所述第三废液接口与废液罐的管道上设置有第三废液阀。
14、作为优选方案，所述过滤器本体的进料管道和出料管道连接有备用过滤器,过滤器本体与备用过滤器并联设置，备用过滤器的进料端设置有备用进料阀与进料管道相连，备用过滤器的出料端还设置有备用出料阀与出料管道相连。
15、作为优选方案，所述保护气源与壳体的进气口之间设置有置换阀。
16、作为优选方案，所述颗粒度测试仪与检测接口之间设置有测试阀。
17、与现有技术相比，本技术至少具有如下有益效果：
18、本技术通过对过滤器检修系统的结构进行合理优化，增加了精密过滤器检修时的置换点，精密过滤器内部以及其进出口管道可实现无死角置换；在精密过滤器进料和出料管道上设置废液阀，可保证精密过滤器进出口管道彻底置换，消除了置换死角。针对硅基电子特气有毒有害，滤芯内部难以置换彻底的问题，在精密过滤器的检修中增加真空泵的抽吹，保证了精密过滤器更换前对过滤器内部物料和更换后所引入痕量水氧的高效置换，避免了检修过程造成的产品污染，通过设置真空泵抽真空操作，对难以置换的折叠滤芯置换效果大幅提升；可高效率对硅基电子特气用精密过滤器进行彻底的置换，避免了因精密过滤器滤芯更换所造成的产品颗粒物含量升高和产品质量下降，检修效果好，润洗滤芯所用的产品液明显减少，生产成本下降显著。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述进料阀与过滤器本体之间的进料管道上设置有第一压力表，所述过滤器本体与出料阀之间的出料管道上设置有第二压力表。
3.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述第一废液接口与废液罐的管道上设置有第一废液阀；
4.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述过滤器本体的进料管道和出料管道连接有备用过滤器，过滤器本体与备用过滤器并联设置，备用过滤器的进料端设置有备用进料阀与进料管道相连，备用过滤器的出料端还设置有备用出料阀与出料管道相连。
5.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述保护气源与壳体的进气口之间设置有置换阀。
6.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：颗粒度测试仪与检测接口之间设置有测试阀。
【技术特征摘要】
1.一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述进料阀与过滤器本体之间的进料管道上设置有第一压力表，所述过滤器本体与出料阀之间的出料管道上设置有第二压力表。
3.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述第一废液接口与废液罐的管道上设置有第一废液阀；
4.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修...
【专利技术属性】
技术研发人员：张兴毅，万烨，赵雄，赵宇，郭树虎，王磊，张燕南，赵国伟，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。