【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅基电子特气用的过滤器，具体涉及一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统。
技术介绍
1、电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅等是主要的硅基电子特气，可用于硅外延生长和大规模集成电路硅外延的硅源，是性能优异的低温硅淀积的源材料，应用广泛，需求量大，同时其产品质量要求也比较苛刻。硅基电子特气中的颗粒物会引起成膜的均匀性变差，甚至引起短路，严重影响良品率，硅基电子特气对颗粒度的控制必不可少，需用精密过滤器进行颗粒物的去除，而且硅基电子特气遇到水分会生成盐酸和二氧化硅颗粒，且有较强的腐蚀性，因此，在对精密过滤器更换滤芯后，需要过滤器的系统进行检修置换。
2、相关技术中，现有的硅基电子特气精密过滤器检修置换的主要难点为：①、硅基电子特气有毒有害，腐蚀性强，物料不能直接进行对空排放和吹扫置换；②、目前精密过滤器设计与硅基电子气产品不完全匹配，过滤器内部和进出口管道存在置换死角，折叠滤芯比表面积大，难以彻底置换；③、滤芯更换后，因置换不彻底，产品颗粒度在投用初期会明显偏高，影响产品质量，需要大量的产品进行冲洗，精密过...
【技术保护点】
1.一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述进料阀与过滤器本体之间的进料管道上设置有第一压力表，所述过滤器本体与出料阀之间的出料管道上设置有第二压力表。
3.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述第一废液接口与废液罐的管道上设置有第一废液阀；
4.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述过滤器本体的进料管道和出料管道连接有备用过滤器，过滤器本体与备用过滤器并联设置，备...
【技术特征摘要】
1.一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述进料阀与过滤器本体之间的进料管道上设置有第一压力表，所述过滤器本体与出料阀之间的出料管道上设置有第二压力表。
3.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修系统，其特征在于：所述第一废液接口与废液罐的管道上设置有第一废液阀；
4.根据权利要求1所述的一种硅基电子特气用精密过滤器的检修...
【专利技术属性】
技术研发人员：张兴毅，万烨，赵雄，赵宇，郭树虎，王磊，张燕南，赵国伟，
申请(专利权)人：洛阳中硅高科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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