【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种球状粒子材料的制造方法。
技术介绍
1、作为半导体的密封材料和基板材料中含有的填料等电子材料用填料，采用由无机材料形成的球状粒子材料。作为球状粒子材料，对其粒度分布、圆形度、纯度等提出了各种要求。
2、作为现有的由无机材料制造球状粒子材料的代表性方法，可以举出：在无机材料为金属氧化物的情况下，将由构成金属氧化物的金属所形成的金属粒子材料在高温氧化气氛下进行投入而使其爆燃后进行骤冷的方法(vmc法)以及将由该无机材料形成的粒子材料在高温气氛下进行投入之后再进行骤冷的方法(熔融法)。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本特开2019-182714号公报
技术实现思路
1、在vmc法中，虽然可以通过控制投入的金属粒子材料的粒度分布和投入速度等来控制所生成的球状粒子材料的粒度分布等，但其控制范围无法完全自由。特别是利用vmc法来制造氧化铝时，很难扩大控制范围。
2、因此，关于通过对成为原料的粒子材料的粒度分布进行控制而能够一定程度控制生成的球状粒子材料的熔融法进行研究时发现，在熔融法中，虽然能够通过成为原料的粒子材料的粒度分布来控制生成的球状粒子材料的粒度分布，但有时熔融无法完全进行。例如当通过熔融法使由氧化铝形成的粒子材料球状化时，有时会掺杂一部分未被熔融的粒子材料。而将这样的成为原料的粒子材料熔融到何种程度的指标称为熔融球化率(详细内容在后面进行说明)。
3、而且，还公开有通过将采
4、本专利技术是鉴于上述实际情况而完成的，作为要解决的课题提供一种制造方法，是通过熔融法来制造球状粒子材料的方法，其熔融球化率比以往高。
5、本专利技术人等以解决上述课题为目的进行了深入研究，其结果发现对供于熔融法的原料，基于粉体流变仪的粉体压缩性评价ff值与熔融球化率的高度相关，从而完成了以下的专利技术。
6、解决上述课题的本专利技术的球状粒子材料的制造方法包括：制备由无机材料形成的原料粒子材料的原料粒子材料制备工序，以及，将上述原料粒子材料在高温气氛下进行投入并使其熔融后进行骤冷，从而制备体积平均粒径为1μm以上且小于10μm的球状粒子材料的球状化工序；并且，上述原料粒子材料基于粉体流变仪的粉体压缩性评价ff值为2.0以上。
7、粉体压缩性评价ff值(以下，在本说明书中简称为“ff值”)是指流动性指数，是以最大主应力(mps)/单轴屈服应力(uys)算出的值。具体而言，ff值是使用freemantechnology公司的粉体流动性分析装置的粉体流变仪ft4进行剪切应力试验而测定的值。
8、本专利技术的球状粒子材料的制造方法通过具有上述构成，从而可以得到熔融球化率高或比表面积小的球状粒子材料，从而可以提供在树脂组合物中作为填料含有时优选的球状粒子材料。
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1.一种球状粒子材料的制造方法，包括：
2.根据权利要求1所述的球状粒子材料的制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的球状粒子材料的制造方法，其中，所述无机材料为氧化铝。
4.根据引用权利要求2的权利要求3所述的球状粒子材料的制造方法，其中，所述原料粒子材料制备工序具有通过使由金属铝形成的金属粒子材料在高温氧化气氛下爆燃而制备所述粗原料粒子材料的爆燃工序。
5.根据权利要求4所述的球状粒子材料的制造方法，其中，
6.根据权利要求4或5所述的球状粒子材料的制造方法，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种球状粒子材料的制造方法，包括：
2.根据权利要求1所述的球状粒子材料的制造方法，其中，
3.根据权利要求1或2所述的球状粒子材料的制造方法，其中，所述无机材料为氧化铝。
4.根据引用权利要求2的权利要求3所述的球状粒子材料的制...
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