一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器及其制备方法，属于传感器件技术领域。本发明专利技术所得基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器包括第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层；所述中间弹性体支撑层设有空洞，所述空洞内植入有金属颗粒；所述第一弹性体封装层设有第一电极层；所述第二弹性体封装层设有第二电极层；所述第一电极层设有第一离电弹性体薄膜，所述第二电极层设有第二离电弹性体薄膜；所述第一离电弹性体薄膜和第二离电弹性体薄膜分别与中间弹性体支撑层的金属颗粒接触。在处于拉伸状态时，也可以通过电容值变化精确地计算出外界施加的压力而不被拉伸产生的信号所干扰。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器件，具体涉及一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器及其制备方法。

技术介绍

1、压力传感器是一种能检测到外界压力改变的传感器，广泛应用于可穿戴、可贴附式电子器件中。近年来，随着柔性电子学的发展，可拉伸的柔性透明贴附式电子器件在消费电子市场、医疗健康、军事等产业领域表现出了极大的应用潜力。因此，对压力传感器的柔性、精确性、可靠性、灵敏性等性能指标的要求越来越高，而传统的压力传感器往往很难满足上述要求。利用不同材料来制备具有结构简单、响应范围宽、灵敏度高、稳定性好的新型可拉伸的柔性透明贴附式压力传感器的研究备受国内外研究者广泛关注，并逐渐成为当前重要的前沿研究领域之一。

2、经过不断地研究，压力传感器在高灵敏度、良好的线性度及宽广的检测范围等方面取得了较大的进展，因而其在可穿戴电子器件于疾病监测、人机交互及智能传感等领域的需求不断增加。然而，在面对同时出现的拉伸和压力信号时，该类传感器压力信号的准确性会受到拉伸状态的干扰，而这一问题还未很好地被解决。尽管可以通过应变隔离或电容补偿等方法，在一定程度上可以校正电容值和相应的压力读数，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器，其特征在于，包括第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层；

2.根据权利要求1所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、第二弹性体封装层的厚度为100-400μm。

3.根据权利要求2所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、第二弹性体封装层各自的电极层采用磁控溅射或刮涂导电电介质的方式进行设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层的材质为低模量柔性弹性体；所述低模量柔性弹性体的弹性...

【技术特征摘要】

1.一种基于金属单颗粒的可拉伸压力传感器，其特征在于，包括第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层；

2.根据权利要求1所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、第二弹性体封装层的厚度为100-400μm。

3.根据权利要求2所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、第二弹性体封装层各自的电极层采用磁控溅射或刮涂导电电介质的方式进行设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的可拉伸压力传感器，其特征在于，所述第一弹性体封装层、中间弹性体支撑层、第二弹性体封装层的材质为低模量柔性弹性体；所述低模量柔性弹性体的弹性模量为0.1-1.0mpa。

【专利技术属性】
技术研发人员：宋忠乾，李伟燕，范宜云，孔惠君，黄晓文，
申请(专利权)人：山东第一医科大学山东省医学科学院，
类型：发明
国别省市：