铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺及制品制造技术

本发明专利技术公开了一种铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺及制品，该工艺包括如下步骤：S1、在槽液中对铝或铝合金表面进行第一次硬质阳极氧化，使表面形成由细微多孔结构的非晶态氧化物Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;构成的硬质阳极氧化膜；S2、将步骤S1得到的产品进行封孔处理；S3、将步骤S2得到的产品在脉冲电压为125～150V，脉冲频率为833～1450Hz的脉冲条件下在所述槽液中进行第二次硬质阳极氧化；S4、将步骤S3得到的产品进行封孔处理；S5、重复上述步骤S3与S4至少一次。该工艺形成的多级氧化膜孔隙被填充均匀，致密性大幅提高，提升了铝或铝合金基材的耐腐蚀性，延长了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及铝或铝合金表面处理工艺，具体地，涉及铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺及制品。

技术介绍

1、铝和铝合金材料应用广泛，但铝或铝合金自身在耐磨性、抗腐蚀性等性能上存在不足，极大限制了其应用。半导体设备中用于各种薄膜沉积工艺(例如化学气相过程fcvd)的腔体组件，其铝或铝合金基材表面经常采用硬质阳极氧化工艺，可以提高基材的耐腐蚀性和耐离子轰击强度。但是传统硬质阳极氧化膜的膜层较厚且膜结构上存在孔洞，即使封孔后也不能将孔洞的空隙完全填充封闭，存在致密性方面的缺陷，导致其抗腐蚀能力相对较弱，使用寿命短，因此此类产品的耐腐蚀性和使用寿命有待改善。

技术实现思路

1、针对上述铝或铝合金表面硬质阳极氧化膜耐腐蚀性差、使用寿命短等问题，本专利技术提供了一种铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺及制品，该工艺形成的氧化膜孔隙被填充均匀，致密性大幅提高，大幅提升了铝或铝合金基材的耐腐蚀性，延长了使用寿命。

2、为了实现上述目的，本专利技术一方面提供一种铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤S1中，所述槽液包括浓度为80～130g/L的硫酸和浓度为10～40g/L的乙二酸，所述第一次硬质阳极氧化的条件为：温度：-5～-3℃，电流：3.5～4.0A/dm2，电压10～15V，时间：30～40min。

3.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤S1中，所述硬质阳极氧化膜的厚度为15～25μm。

4.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤S2中，所述封孔为水封孔，温度为98～102℃，时间为55～65min。...

【技术特征摘要】

1.一种铝或铝合金表面多级硬质阳极氧化膜的形成工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤s1中，所述槽液包括浓度为80～130g/l的硫酸和浓度为10～40g/l的乙二酸，所述第一次硬质阳极氧化的条件为：温度：-5～-3℃，电流：3.5～4.0a/dm2，电压10～15v，时间：30～40min。

3.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤s1中，所述硬质阳极氧化膜的厚度为15～25μm。

4.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于，步骤s2中...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文丰，潘义飞，韩晓兴，罗素香，
申请(专利权)人：苏州微骏瑞芯精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：