一种无接触吸浮输运装置及其滑移失稳抑制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种无接触吸浮输运装置及其滑移失稳抑制方法，所述无接触吸浮输运装置包括运动平台，运动平台呈圆柱形，其上表面分布的四个铰接点和周向面上分布的四个铰接点共同构成一个长方体，每一铰接点连接一根柔性缆绳，柔性缆绳绕过并联框架上的定滑轮然后缠绕在滚轮上，滚轮由电机驱动；运动平台下方设置伯努利吸盘，伯努利吸盘通过管路连接气源，管路上设置有流量阀；通过电机驱动滚轮旋转，使柔性缆绳缠绕在滚轮上，继而不断改变绳长，转换运动平台的位姿和位置。本发明专利技术具有工作空间大、自由度高、轻量化、低成本等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及无接触运输，具体涉及一种无接触吸浮输运装置及其滑移失稳抑制方法。

技术介绍

1、相比传统的运输方式，无接触运输具有更低的摩擦阻力和能耗，尤其是能够对载荷精准控制及定位，降低工件在运输过程中损坏的风险。因此，在半导体行业的工件(例如晶圆片)运输中具有应用前景。

2、伯努利吸盘是实现无接触运输的方式之一。伯努利吸盘的原理：如图1所示，气流从伯努利吸盘的供气通道流入，在吸盘与工件之间的间隙形成空气薄膜，根据伯努利原理，流速大处压强小，工件被大气压“托住”，从而工件被吸盘吸附。

3、cn115799131a公开了一种吸力可调的无接触吸浮输运装置及控制方法，利用并联平台、伺服电缸等，使伯努利吸盘能够平移、调节吸力、改变角度位姿。存在的技术问题在于，并联平台为刚性结构，致使工作空间较小，同时重量较大(移动时惯性大，移动稳定性降低，不利于移动控制)，自由度较低。

技术实现思路

1、专利技术目的：本专利技术的第一目的是提供一种工作空间大的无接触吸浮输运装置；本专利技术的第二目的是提供该无本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无接触吸浮输运装置，其特征在于，包括并联框架和运动平台，并联框架的每一面均设置有两组定滑轮和电机，定滑轮设置在框架梁底部，两端各一，定滑轮底座转动连接在框架梁上；电机设置在并联框架外侧，位置与定滑轮相对应；电机输出端设置有滚轮，滚轮上缠绕有柔性缆绳；

2.根据权利要求1所述的无接触吸浮输运装置，其特征在于，所述定滑轮底座包括转动设置在底座板上的U型支架，定滑轮铰接在U型支架上，底座板固定在框架梁上。

3.根据权利要求1所述的无接触吸浮输运装置，其特征在于，运动平台下方设置的伯努利吸盘数量为四个，沿周向均匀分布；伯努利吸盘上沿径向分布有四组测压孔，每组的测压...

【技术特征摘要】

1.一种无接触吸浮输运装置，其特征在于，包括并联框架和运动平台，并联框架的每一面均设置有两组定滑轮和电机，定滑轮设置在框架梁底部，两端各一，定滑轮底座转动连接在框架梁上；电机设置在并联框架外侧，位置与定滑轮相对应；电机输出端设置有滚轮，滚轮上缠绕有柔性缆绳；

2.根据权利要求1所述的无接触吸浮输运装置，其特征在于，所述定滑轮底座包括转动设置在底座板上的u型支架，定滑轮铰接在u型支架上，底座板固定在框架梁上。

3.根据权利要求1所述的无接触吸浮输运装置，其特征在于，运动平台下方设置的伯努利吸盘数量为四个，沿周向均匀分布；伯努利吸盘上沿径向分布有四组测压孔，每组的测压孔数量为n个，n≥5，各测压孔上端均设置有压力传感器，用于检测伯努利吸盘与工件之间空气薄膜的压力；四组测压孔关于伯努利吸盘中心呈十字对称结构。

4.一种权利要求3所述的无接触吸浮输运装置的滑移失稳抑制方法，其特征在于，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟伟，王一昊，庄自蹊，李冲，吕明明，
申请(专利权)人：江苏科技大学，
类型：发明
国别省市：