用于光学微腔耦合的封装结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于光学微腔耦合的封装结构，包括光学微腔和耦合件，光学微腔和耦合件安装在三维调整平台上，通过三维调整平台控制光微腔和耦合件的相对位置，光学微腔、耦合件和三维调整平台均安装在密闭的盒体结构中，盒体结构上表面有透明的观察窗，利用显微镜观察光学微腔和耦合件的相对位置。本发明专利技术利用气体隔绝连接件密封三维调整平台的活动件，实现活动件的密封。通过这种封装结构，可以在高密闭性的封装结构内实时调节微腔和光纤的耦合位置，实现高效地产生光孤子。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术专利属于光学微腔封装领域，更具体地，设计一种用于光孤子产生的基于超高品质光学微腔的高精度耦合可调节的封装结构。

技术介绍

1、基于回音壁模式(wgm)光学微腔产生的孤子梳在低噪声微波源、双光梳光谱、相干光通信和精密测量等领域得到广泛应用。

2、在光孤子的产生过程中，wgm微腔与耦合器件(如锥形光纤)构成的光学系统极易受到环境因素的影响，例如机械振动、灰尘、湿度及温度波动等。由于微腔光学系统的大体积和对环境的敏感性，大部分对于光孤子的研究与应用仍受限于实验室。

3、通常使用低折射率紫外胶封装光纤与微腔的耦合位置，固化过程中会出现脱离最佳耦合状态的现象。机械封装使得耦合部位完全固定，耦合状态无法检测，使优质光孤子产生的可重复性难以保证。

4、与本申请最接近的现有技术是《封装型回音壁模式光学微腔器件稳定性研究》(第49卷第17期/2022年9月/中国激光)，该技术通过三维品台调整wgm微腔与耦合器件之间的位置关系，调整至较好位置关系后用玻璃片固定wgm微腔与耦合器件的位置并把wgm微腔与耦合器件放到一个封闭的玻璃盒中本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于光学微腔耦合的封装结构，包括光学微腔和耦合件，其特征在于：光学微腔和耦合件安装在三维调整平台上，通过三维调整平台控制光微腔和耦合件的相对位置，光学微腔、耦合件和三维调整平台均安装在密闭的盒体结构中，盒体结构上表面有透明的观察窗，利用显微镜观察光学微腔和耦合件的相对位置。

2.根据权利要求1所述用于光学微腔耦合的封装结构，其特征在于：光学微腔安装在Z轴位移滑轨的支架上，耦合件安装在XY双轴位移滑轨上，三个分别控制XYZ三轴位移的差分测微头的旋钮部分露在盒体结构外，在差分测微头与盒体结构壁面开孔采用螺纹连接，螺纹间隙填充防水密封硅脂，差分测微头在盒体内部的伸缩杆部分套...

【技术特征摘要】

1.一种用于光学微腔耦合的封装结构，包括光学微腔和耦合件，其特征在于：光学微腔和耦合件安装在三维调整平台上，通过三维调整平台控制光微腔和耦合件的相对位置，光学微腔、耦合件和三维调整平台均安装在密闭的盒体结构中，盒体结构上表面有透明的观察窗，利用显微镜观察光学微腔和耦合件的相对位置。

2.根据权利要求1所述用于光学微腔耦合的封装结构，其特征在于：光学微腔安装在z轴位移滑轨的支架上，耦合件安装在xy双轴位移滑轨上，三个分别控制xyz三轴位移的差分测微头的旋钮部分露在盒体结构外，在差分测微头与盒体结构壁面开孔采用螺纹连接，螺纹间隙填充防水密封硅脂，差分测微头在盒体内部的伸缩杆部分套有气体隔绝连接件。

3.根据权利要求2所述用于光学微腔耦合的封装结构，其特征在于：所述气体隔绝连接件由橡胶套、固定螺母以及差分测微头轴套构成，测微头轴套固定在盒体内侧壁开孔处，差分测微头穿过测微头轴套，固定螺母通过螺纹套装在测微头轴套外，固定螺母的外圆周上有v形槽，橡胶套的端部安装在v型槽中，固定螺母的v型槽以及固定螺母与主壳体内侧的间隙分别涂有防水密封硅脂，橡胶套将差分测微头的伸缩端包覆并顶在位移滑轨侧面，位移滑轨配置有复位弹簧。

4.根据权利要求1-3任一项所述用于光学微腔耦合的封装结构，其特征在于：所述耦合件为光纤，光纤中有一段拉锥部分并固定在u形垫片上使拉锥部分悬空，拉锥部分用于和光学微腔耦合，光纤两端从盒体结构的外壁面穿...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海润，袁海云，白佳敏，狄歆博，付娟，任程意，史志明，孙苏皖，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：