【技术实现步骤摘要】
本公开涉及晶体生长领域,更具体地涉及一种籽晶组件以及锑化铟晶体生长的方法。
技术介绍
1、锑化铟(insb)是一种窄禁带ⅲ-ⅴ族半导体材料,77k时禁带宽度为0.232ev,在3-5μm波段是本征吸收,拥有极高的电子迁移率,目前是中波红外探测器的最佳材料之一。锑化铟的熔点为525℃,与其它ⅲ-ⅴ族化合物相比,它易于提纯和生长单晶,因而它常是ⅲ-ⅴ族化合物固体理论研究时所选择的对象。
2、锑化铟的晶体生长方法多为提拉法。作为闪锌矿结构,最优的晶体生长方向为<111>方向。但晶体生长沿<111>方向生长有明显的小面效应,使径向载流子分布很不均匀,无法满足焦平面器件的需要。沿<211>晶向生长可减弱这一效应,但会严重减小晶体的利用率,同时带来较为严重的位错问题。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题,本公开的一目的在于提供一种籽晶组件以及锑化铟晶体生长的方法,其有利于抑制小面效应,提高提拉法生长出的锑化铟晶体的载流子浓度的均匀性。
【技术保护点】
1.一种籽晶组件,其特征在于,
2.根据权利要求1所述的籽晶组件,其特征在于,
3.根据权利要求2所述的籽晶组件,其特征在于,
4.根据权利要求1所述的籽晶组件,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的籽晶组件,其特征在于,
6.一种锑化铟晶体生长的方法,其特征在于,采用权利要求1-5中任一项所述的籽晶组件(100)提拉法生长锑化铟晶体。
7.根据权利要求6所述的锑化铟晶体生长的方法,其特征在于,锑化铟晶体生长的方法包括步骤:
【技术特征摘要】
1.一种籽晶组件,其特征在于,
2.根据权利要求1所述的籽晶组件,其特征在于,
3.根据权利要求2所述的籽晶组件,其特征在于,
4.根据权利要求1所述的籽晶组件,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的籽...
【专利技术属性】
技术研发人员:狄聚青,李镇宏,
申请(专利权)人:广东晶智光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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