一种氟化铵的纯化装置制造方法及图纸

技术编号:43097592 阅读:29 留言:0更新日期:2024-10-26 09:42
本技术公开了一种氟化铵的纯化装置,包括罐体,所述罐体的一侧设置有排料口,所述罐体的一侧位于排料口正下方的位置设置有接料结构,所述接料结构包括接料盘、连接座、升降槽、活动块、侧块、卡杆和卡孔,所述接料盘转动连接在罐体的一侧,所述活动块升降连接在连接座内部开设的升降槽的内部;人员可将接料盘张开,并借助活动块、侧块和卡杆等组件将张开的接料盘的固定限位住,此时接料盘位于排料口的正下方,能够对排料口处掉落下来的存留物料进行接取,一方面能够避免物料的浪费,另一方面也能防止物料污染外界,有利于纯化装置顺利进行纯化工作,也有利于后续利用纯化的氟化铵进行集成电路中芯片的制造工作。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于氟化铵生产,具体涉及一种氟化铵的纯化装置


技术介绍

1、氟化铵,是一种无机化合物,是生产电子化学品中常用到的一种化合物,在半导体器件制造中,氟化铵可作为液态的刻蚀剂和清洗剂来使用,想要保证氟化铵在生产电化学产品时,起到良好的刻蚀或是清洗效果,需要事先对氟化铵进行纯化,纯化方式一般为,将物料与指定溶剂反应,然后再对其进行结晶,从而得到更精纯的氟化铵,而结晶时便需要借助专用的结晶罐。

2、结晶罐体上设有排料口,可通过外部管道与排料口连接将罐体内部的物料排出,而在将外部管道拆下后,排料口外端内部难免会有一些残存物料,容易掉落至地面上,一方面造成物料的浪费,另一方面也容易污染外界,因此,需要另外设计一种新的结晶罐来解决此问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种氟化铵的纯化装置,以解决上述
技术介绍
中提出的现有结晶罐上的排料口处容易掉落下残留物料的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种氟化铵的纯化装置,包括罐体,所述罐体的一侧设置有排料口,所述罐体的一侧位于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氟化铵的纯化装置,包括罐体(100),其特征在于:所述罐体(100)的一侧设置有排料口(200),所述罐体(100)的一侧位于排料口(200)正下方的位置设置有接料结构(300),所述接料结构(300)包括接料盘(301)、连接座(302)、升降槽(303)、活动块(304)、侧块(305)、卡杆(306)和卡孔(307),所述接料盘(301)转动连接在罐体(100)的一侧,所述活动块(304)升降连接在连接座(302)内部开设的升降槽(303)的内部,所述侧块(305)固定在活动块(304)外侧并伸出升降槽(303),所述卡杆(306)固定在侧块(305)底部,并插入到接料盘(...

【技术特征摘要】

1.一种氟化铵的纯化装置,包括罐体(100),其特征在于:所述罐体(100)的一侧设置有排料口(200),所述罐体(100)的一侧位于排料口(200)正下方的位置设置有接料结构(300),所述接料结构(300)包括接料盘(301)、连接座(302)、升降槽(303)、活动块(304)、侧块(305)、卡杆(306)和卡孔(307),所述接料盘(301)转动连接在罐体(100)的一侧,所述活动块(304)升降连接在连接座(302)内部开设的升降槽(303)的内部,所述侧块(305)固定在活动块(304)外侧并伸出升降槽(303),所述卡杆(306)固定在侧块(305)底部,并插入到接料盘(301)顶面开设的卡孔(307)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种氟化铵的纯化装置,其特征在于:所述连接座(302)固定在罐体(100)一侧,并位于接料盘(301)的上方。

3.根据权利要求1所述的一种氟化铵的纯化装置,其特征在于:所述侧块(305)设置有三处,所述卡杆(306)与卡孔(307)的内壁相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种氟化铵的...

【专利技术属性】
技术研发人员:李祥庆
申请(专利权)人:江苏美阳电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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