一种高纯醋酸的纯化工艺及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种高纯醋酸的纯化工艺及其装置。采用本发明专利技术的粗蒸馏、吸附、精馏、过滤工艺流程结合本发明专利技术的设备生产的高纯醋酸产量高，产品质量稳定。特别是吸附过程中采用了改性的SAPO‑34吸附剂，微孔、介孔、大孔协同吸附，高效率地去除2‑丁烯醛、2‑乙基‑2‑丁烯醛、乙醛等有机杂质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电子级化学品制备，具体涉及一种高纯醋酸的纯化工艺及其装置。

技术介绍

1、电子级醋酸是一种微电子工业中应用的湿电子化学品之一。其可对硅晶片进行清洗等，有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物，广泛用于光伏太阳能电池、平板显示器、集成电路等电子元器件的生产。

2、醋酸的生产、运输和储存过程中，由于原料与设备原因，产品中不可避免地带入一些金属离子、灰尘颗粒，未反应原料以及中间产物，而这些杂质，很容易导致错层的产生，造成p-n结合漏电流、击穿等。对于线宽越小的集成电路，除了极少的金属离子以及微粒可能破坏整个电路，溶剂中的有机物如醛(还原性很强)等也影响电路的性能。因此，随着集成电路的快速发展，对电子级试剂纯度的要求越来越高，如何有效的去除金属离子、灰尘颗粒以及有机杂质是亟需解决的技术问题。对于醋酸，由于其杂质如2-丁烯醛、2-乙基-2-丁烯醛容易与水形成共沸物，如何高效率地去除水分以及有机杂质也是亟需攻克的课题。

3、cn114989005a公开了一种电子级醋酸的制备方法，包括以下步骤，步骤一：利用离子交换树脂去除初始本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高纯醋酸的纯化工艺，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述改性的吸附剂采用包含碱的改性剂对SAPO-34分子筛进行处理得到。

3.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：所述改性剂包括四甲基氢氧化铵和表面活性剂，处理温度为80-100℃。

4.根据权利要求3所述的工艺，其特征在于：所述表面活性剂为脂肪酸甲酯磺酸盐、脂肪醇聚醚硫酸盐中一种或两种。

5.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述高纯醋酸的浓度大于等于99.00％。

6.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述过滤器采用电子级过滤器进行...

【技术特征摘要】

1.一种高纯醋酸的纯化工艺，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述改性的吸附剂采用包含碱的改性剂对sapo-34分子筛进行处理得到。

3.根据权利要求2所述的工艺，其特征在于：所述改性剂包括四甲基氢氧化铵和表面活性剂，处理温度为80-100℃。

4.根据权利要求3所述的工艺，其特征在于：所述表面活性剂为脂肪酸甲酯磺酸盐、脂肪醇聚醚硫酸盐中一种或两种。

5.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述高纯醋酸的浓度大于等于99.00％。

6.根据权利要求1所述的工艺，其特征在于：所述过滤器采用电子级过滤器进行过滤。

7.根据权利要求4所述的工艺，其特征在于：所述改性的吸附剂的比表面积为500～550m2/g。

8.一种采用权利要求1所述的工艺...

【专利技术属性】
技术研发人员：李祥庆，
申请(专利权)人：江苏美阳电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：