一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置，包括处理箱与过滤组件，所述过滤组件安装在处理箱的内壁上，所述处理箱的内壁上滑动连接有两个承载架，两个所述承载架分别位于过滤组件的左右两侧。该技术，通过设置可垂直往复移动的同步轴且配合同步轴上的拍击板来对过滤组件进行拍击，以此来使得附着在过滤组件上的灰尘脱落部分，在无需停机处理的同时可防止灰尘堵塞影响分离效率，同时通过设置弧形槽以及多组隔板实现弧形槽的密封，在灰尘排出时转动隔板灰尘即可不断排出，无需停机影响对硫酸烟气的分离处理效率，且设置在隔板内部的辅助机构可以使得隔板振动，加快灰尘的脱落排出防止灰尘附着。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子级硫酸生产，更具体地说，涉及一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置。

技术介绍

1、电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是电子材料及精细化工结合的高新技术产品，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。随着集成电路(ic)向大规模和超大规模、极大规模的发展，芯片集成度越来越高，晶圆表面的光刻线条越来越细，对电子级硫酸的品质要求越来越严格，电子级硫酸的制备工艺主要有采用工业硫酸精馏法或工业so3液体作原料进行蒸发吸收。

2、当对电子级硫酸生产过程中，需要对含有硫酸的烟气进行分离提纯，目前多依次通过烟尘分离、烟酸收集塔与烟酸蒸发罐等一系列设备完成对烟气的分离提纯，一般多采用布袋除尘器对烟气进行过滤分离，但布袋除尘器使用一段时间后需要对布袋以及内部灰尘进行清理，若不及时清理则会影响到过滤效果，但在清理过程中需要进行停机，则会影响到对烟气的过滤分离效率。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置，包括处理箱(1)与过滤组件(2)，所述过滤组件(2)安装在处理箱(1)的内壁上，其特征在于：所述处理箱(1)的内壁上滑动连接有两个承载架(3)，两个所述承载架(3)分别位于过滤组件(2)的左右两侧，所述处理箱(1)的顶部固定安装有两个伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出轴贯穿并延伸至处理箱(1)的内部，所述伺服电机(4)的输出轴上固定连接有丝杆，所述承载架(3)螺纹连接在丝杆上，所述承载架(3)上转动连接有同步轴(5)，所述同步轴(5)上固定连接有均匀分布的拍击板(6)，所述拍击板(6)上滑动连接有延展板(7)，所述处理箱(1)的内壁上固...

【技术特征摘要】

1.一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置，包括处理箱(1)与过滤组件(2)，所述过滤组件(2)安装在处理箱(1)的内壁上，其特征在于：所述处理箱(1)的内壁上滑动连接有两个承载架(3)，两个所述承载架(3)分别位于过滤组件(2)的左右两侧，所述处理箱(1)的顶部固定安装有两个伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出轴贯穿并延伸至处理箱(1)的内部，所述伺服电机(4)的输出轴上固定连接有丝杆，所述承载架(3)螺纹连接在丝杆上，所述承载架(3)上转动连接有同步轴(5)，所述同步轴(5)上固定连接有均匀分布的拍击板(6)，所述拍击板(6)上滑动连接有延展板(7)，所述处理箱(1)的内壁上固定连接有齿板(8)，所述同步轴(5)与齿板(8)相啮合，所述处理箱(1)的内壁上开设有弧形槽(9)，所述处理箱(1)的正面固定安装有驱动电机(10)，所述驱动电机(10)的输出轴贯穿处理箱(1)并延伸至弧形槽(9)的内部，所述驱动电机(10)的输出轴上固定连接有均匀分布的隔板(11)，所述隔板(11)的内部设置有辅助机构(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产电子级硫酸的烟气分离提纯装置，其特征在于：所述处理箱(1)的右侧固定安...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊平，胡斌，余炳华，彭玉兰，
申请(专利权)人：江西万顺化工有限公司，
类型：新型
国别省市：