【技术实现步骤摘要】
本技术涉及检测系统，尤其涉及一种金刚石线锯磨损状态在线检测系统。
技术介绍
1、半导体产业作为现代科技领域的关键支撑之一，扮演着连接信息技术与各个行业的桥梁角色。随着电子设备的普及和信息技术的迅猛发展，人们对于高性能、高集成度的半导体器件的需求不断增加。在半导体芯片的制造过程中，衬底切割作为其中的一个重要步骤，对于半导体器件的性能和质量具有重要影响。为了进一步降低制造企业的生产成本，金刚石线锯切割技术应运而生，并逐步在全行业得到推广。这种切割技术凭借其高效、精准的特点，是采用最广泛的硅片切割技术，成为半导体芯片制造过程中不可或缺的工具金刚石线锯切割过程本质上是一个使用大量金刚石磨料进行连续研磨的过程，金刚石磨料不断磨损，固定在锯丝表面上的磨料的形态不断变化，因此，金刚石线锯表面的形貌与切割效率、切片质量和磨损情况密切相关，在线实时监控显得尤为重要。
2、传统的金刚石线锯检测方法主要包括目视检查、手感检查和仪器检测，如扫描电子显微镜等。人工检查存在一定的主观性，并且这些方法均属于离线检测，不能实现实时的在线检测和数据采集。如果...
【技术保护点】
1.一种金刚石线锯磨损状态在线检测系统，其特征在于，包括图像采集模块、图像处理模块、预测报警模块和传输线路，其中所述图像采集模块对金刚石线锯进行图像采集并将采集的图像信号输入至所述图像处理模块；所述图像处理模块接收图像采集模块的图像信号，所述图像处理模块输出处理参数信号至所述预测报警模块；所述图像采集模块安装于笼式结构，所述笼式结构与位移台连接，所述位移台安装于旋转台使得图像采集模块采集金刚石线锯图像。
2.根据权利要求1所述的金刚石线锯磨损状态在线检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括相机组件、镜头组件、光源组件，所述相机组件、镜头组件和光源组件同轴...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石线锯磨损状态在线检测系统，其特征在于，包括图像采集模块、图像处理模块、预测报警模块和传输线路，其中所述图像采集模块对金刚石线锯进行图像采集并将采集的图像信号输入至所述图像处理模块；所述图像处理模块接收图像采集模块的图像信号，所述图像处理模块输出处理参数信号至所述预测报警模块；所述图像采集模块安装于笼式结构，所述笼式结构与位移台连接，所述位移台安装于旋转台使得图像采集模块采集金刚石线锯图像。
2.根据权利要求1所述的金刚石线锯磨损状态在线检测系统，其特征在于，所述图像采集模块包括相机组件、镜头组件、光源组件，所述相机组件、镜头组件和光源组件同轴安装于笼式结构，所述笼式结构用于调整相机与金刚石线锯的焦距。
3.根据权利要求2所述的金刚石线锯磨损状态在线检测系统，其特征在于，所述光源组件包括主光源与背光源，所述主光源设于所述笼式结构，与相机组件、镜头组件同轴连接；所述背光源通过背光源支撑件安装于所述旋转台，所述背光源与所述镜头组件相对设置。
4.根据权利要求3所述的金刚石线锯磨损...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔长彩，梁琪苗，黄辉，黄国钦，徐西鹏，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。