一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置制造方法及图纸

技术编号:43077344 阅读:25 留言:0更新日期:2024-10-26 09:29
本技术公开了一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,具体涉及单晶生产技术领域,包括用于支撑的限位圈,所述限位圈上设置有连接组件,所述连接组件包括设置在限位圈内用于限位的连接件,所述连接件的顶部且沿着连接件的轴心点圆周分布有若干个用于限位的第一错位槽。本技术通过第一错位槽和第二错位槽的设置,当对连接件局部腐蚀断裂、发热区局部做薄,降低了加热器强度,同时通过延长杆和托腿板摒弃了传统的横向穿孔设计,减薄了主加脚板占用的空间,增加炉膛的利用率,可重复更换延长杆和托腿板使用,解决的螺丝孔撑列的问题,同时装置为竖直方向上安装,拼接面接触紧实导电效果更加良好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶生产,更具体地说,本技术涉及一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置


技术介绍

1、主加拼接装置是直拉法生产单晶硅过程中的一个关键部分。直拉法是一种用于生产单晶硅的工艺,其中硅材料在晶种上慢慢生长,形成硅晶体。主加拼接装置在这个过程中起着重要作用。

2、主加拼接装置通常由一个主加压室和一个拼接室组成。在主加压室中,硅材料在晶种上逐渐生长,而在拼接室中,硅晶体被拼接在一起。这个过程可以产生大尺寸的单晶硅棒,这是制造半导体器件和太阳能电池所必需的。

3、其中,经检索发现,专利申请号为cn201620915837.3的技术专利公开了直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置,包括挂件、连接杆上部开孔的边皮复拉料a,挂件的上部通过穿过挂件的销钉与单晶炉上轴钢丝绳相连,连接杆穿过边皮复拉料a的孔将其悬挂于挂件;

4、该结构在使用时,通过用整块边皮复拉料加料装置将单晶棒切片后产生的多块边皮复拉料收尾不经过破碎、清洗工序,而且将其收尾相连悬挂连接后,利用单晶炉上轴钢丝绳和挂件将上述边皮复拉料缓慢投入石英坩埚的熔硅中,不但避免了本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,包括用于支撑的限位圈(1),其特征在于:所述限位圈(1)上设置有连接组件;

2.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,其特征在于:两个所述延长杆(6)的顶部且位于连接件(2)的外侧均开设有通孔(5),所述延长杆(6)的顶部延伸至连接件(2)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,其特征在于:所述延长杆(6)的底部设置有托腿板(7),所述延长杆(6)和托腿板(7)的竖截面形状结合成L型。

【技术特征摘要】

1.一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,包括用于支撑的限位圈(1),其特征在于:所述限位圈(1)上设置有连接组件;

2.根据权利要求1所述的一种直拉法生产单晶中的主加拼接装置,其特征在于:两个所述延长杆(6)的顶部且位于连接件(2)的外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩龙王建利郭嘉伟董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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