一种环状靶材焊接装置及焊装方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于稀有金属焊接技术领域，公开了一种环状靶材焊接装置及焊接方法，包括夹持结构及焊接结构。夹持结构包括两个夹持于待焊接环状靶材两侧的夹具，夹具围设有容纳腔，夹具侧壁上开设有导气孔，保护气体经导气孔进入容纳腔内，使焊接位置周围充斥保护气体，避免焊接过程中环状靶材发生氧化，以提高环状靶材的合格率。两个夹具面向彼此的一侧均设置有卡槽，环状靶材穿设于卡槽内，并伸入容纳腔内，保证环状靶材夹持的稳定度以及焊接位置的准确性。每个夹具上均开设有条形槽，连接于焊枪上的焊条能够穿过条形槽伸入容纳腔内，完成对环状靶材的焊接。当完成环状靶材第一面的焊接后，可立即对环状靶材第二面进行焊接，进而有效提高焊接效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及稀有金属焊接，尤其涉及一种环状靶材焊接装置及焊接方法。

技术介绍

1、在集成电路芯片制造领域，稀有金属被广泛应用，各式各样的稀有金属靶材具有极大的需求量，其中，环状靶材占比较大。但相较于其他靶材，环状靶材制造工艺相对复杂，需要将条状物料焊接为环状，因此，对环状靶材的焊接提出了十分苛刻的要求。

2、现有技术中，主要采用手工氩弧焊。而手工氩弧焊在焊接过程中气体保护能力不足，焊接面在高温的影响下极容易与空气中的物质发生氧化反应，产生其他杂质，进而影响产品质量。同时，焊接完一个面之后，需要待靶材冷却后，才能焊接另一面，导致焊接效率较低。此外，环状靶材在焊接时，需要采用夹具进行夹持固定，夹持不稳或者夹持位置存在偏差等都会导致靶材焊接完成后出现断裂，影响环状靶材的合格率。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种环状靶材焊接装置及焊接方法，可确保环形靶材夹持的稳定度，便于双面焊接，并且能够防止焊接过程出现氧化，保证环状靶材的合格率。

2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种环状靶材焊接装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述夹具(11)上转动设置有密封板(14)，所述密封板(14)能够封堵于所述条形槽(13)。

3.根据权利要求2所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述夹具(11)上设置有止挡组件(15)，所述止挡组件(15)包括固定件(151)、止挡件(152)及弹性件(153)，所述固定件(151)设置于所述夹具(11)外壁，所述固定件(151)上开设有固定槽，所述止挡件(152)可滑动地叠设于所述夹具(11)外壁，所述止挡件(152)的一端伸入所述固定槽，且所述弹性件(153...

【技术特征摘要】

1.一种环状靶材焊接装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述夹具(11)上转动设置有密封板(14)，所述密封板(14)能够封堵于所述条形槽(13)。

3.根据权利要求2所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述夹具(11)上设置有止挡组件(15)，所述止挡组件(15)包括固定件(151)、止挡件(152)及弹性件(153)，所述固定件(151)设置于所述夹具(11)外壁，所述固定件(151)上开设有固定槽，所述止挡件(152)可滑动地叠设于所述夹具(11)外壁，所述止挡件(152)的一端伸入所述固定槽，且所述弹性件(153)连接于所述止挡件(152)与所述固定槽侧壁之间；所述止挡件(152)能够止挡所述密封板(14)从所述条形槽(13)内脱出。

4.根据权利要求3所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述止挡件(152)远离所述弹性件(153)的一端设置有操作部。

5.根据权利要求1-4任一所述的环状靶材焊接装置，其特征在于，所述夹具(11)内设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，李桂鹏，马沁，杨德，
申请(专利权)人：同创普润上海机电高科技有限公司，
类型：发明
国别省市：