光学窗口的制作方法和光学装置制造方法及图纸

技术编号:43048496 阅读:25 留言:0更新日期:2024-10-22 14:32
本申请公开一种光学窗口的制作方法和光学装置,包括:获取待镀覆金属的基板;在基板的一表面上涂覆光刻胶层,通过掩膜板对光刻胶层进行光刻,形成涂覆光刻胶层的非镀金属区域,其中掩膜板的图形与镀金属区域对应设置;对基板的一表面镀覆金属,形成金属层;去除光刻胶层以及位于非镀金属区域内的金属层,形成镀覆金属层的镀金属区域;非镀金属区域包括位于相邻的两个镀金属区域之间的预留切割道,基于预留切割道将基板切割为多个光学窗口。基于上述方式,通过光刻在基板上形成涂覆光刻胶层的非镀金属区域,镀覆金属后将光刻胶层和其表面的金属层去除,最后将基板切割为多个光学窗口,可以提高镀覆金属的效率,提高镀覆精度的一致性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学装置制作,尤其涉及一种光学窗口的制作方法和光学装置


技术介绍

1、光学窗口是在蓝宝石、锗硅、玻璃等片状基板材料上进行镀膜加工,以满足所需要的光学性能和焊接功能。其中,基板中间的透光区域用于实现光学窗口的光学性能;对基板表面边缘的环形区域镀覆金属,用于实现光学窗口的焊接功能。

2、光学窗口的尺寸较小,通常在光学窗口的透光区域设置遮挡片,后镀覆金属,后取下遮挡片实现对基板表面的环形区域镀覆金属的目的。其中,设置遮挡片通常采用耐高温双面胶贴装或磁力吸附的方式,由于遮挡片为机械结构,受尺寸限制,两个光学窗口之间的间隙较大,效率低、一致性差。


技术实现思路

1、为了解决上述问题,本申请提供了一种光学窗口的制作方法和光学装置。

2、为解决上述技术问题,本申请提供了第一种技术方案,提供一种光学窗口的制作方法,所述制作方法包括:获取待镀覆金属的基板;在所述基板的一表面上涂覆光刻胶层,通过掩膜板对所述光刻胶层进行光刻,形成涂覆光刻胶层的非镀金属区域,其中所述掩膜板的图形与所述非镀金属区域本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学窗口的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述基于所述预留切割道将所述基板切割为多个所述光学窗口的步骤包括:

3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述非镀金属区域包括透光区域,同一的所述镀金属区域围绕对应的所述透光区域设置;所述制作方法还包括:

4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述基板的一表面上涂覆光刻胶层,通过掩膜板对所述光刻胶层进行光刻,形成涂覆光刻胶层的非镀金属区域,其中所述掩膜板的图形与所述镀金属区域对应设置的步骤包括:

5.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种光学窗口的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述基于所述预留切割道将所述基板切割为多个所述光学窗口的步骤包括:

3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述非镀金属区域包括透光区域,同一的所述镀金属区域围绕对应的所述透光区域设置;所述制作方法还包括:

4.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述基板的一表面上涂覆光刻胶层,通过掩膜板对所述光刻胶层进行光刻,形成涂覆光刻胶层的非镀金属区域,其中所述掩膜板的图形与所述镀金属区域对应设置的步骤包括:

5.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在所述获取待镀覆金属的基板的步骤之后,所述制作方法还包括:

6.根据权利要求5所述的制作方法...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭燕玉唐怀陈良兴
申请(专利权)人:深圳芯瑞光科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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