【技术实现步骤摘要】
本申请涉及机器视觉，特别是涉及一种定位点的生成方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。
技术介绍
1、随着半导体制造技术的进步，出现了利用高倍相机对透明晶圆进行拍摄和加工的新技术。然而在加工过程中，由于热胀冷缩等因素，晶圆的位置可能会发生偏移。为了解决这一问题，工程师们采用了图像识别定位晶圆确定晶圆的行列坐标，以纠正因加工造成的位置偏移。
2、然而，在对晶圆进行加工时，外界因素可能会影响晶圆边框的识别准确性。因此，参考图1所示，通常会使用广角相机来确定晶圆的纠偏点（图1中的黑点），并基于此将高倍相机精确定位到晶圆位置（灰色填充部分）。然而，这种方法可能受到载台气路纹理（灰色线条）对纠偏点的干扰，从而影响晶圆的定位精度。
3、在现有技术中，通常会在晶圆的顶部增加一个白色或近红外点光源，同时结合载台的背光源，以提高晶圆与气路纹理之间的对比度，从而进一步降低载台气路纹理对纠偏点的干扰。然而，这种方式硬件成本极高，且无法完全消除载台气路纹理带来的干扰，导致识别异常的报警率依然较高。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种定位点的生成方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述初始定位点的像素值不符合预设阈值的情况下，以所述初始定位点为中心，预设的距离阈值为间隔依次查找，得到所述初始定位点对应的像素值符合预设阈值的替换定位点，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述目标图像中芯片的初始定位点，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取目标图像包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标图像包括广角相机下的图像；所述定位点包括定位点在所述目...
【技术特征摘要】
1.一种定位点的生成方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述初始定位点的像素值不符合预设阈值的情况下，以所述初始定位点为中心，预设的距离阈值为间隔依次查找，得到所述初始定位点对应的像素值符合预设阈值的替换定位点，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述目标图像中芯片的初始定位点，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取目标图像包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标图像包括广角相机下的图像；所述定位点包括定位点在所述目标图像中的第一坐标信息；所述利用所述替换定位点，对所述初始定位点进...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，裴兴环，陈万群，王正根，
申请(专利权)人：迈为技术珠海有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。