【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密元器件制造，尤其涉及一种磁悬浮重力平衡器。
技术介绍
1、在精密制造中，精密定位与隔振是整个系统的核心技术问题之一。例如在极紫外光刻机中，影响生产良率及制造线宽的关键部件之一，便是高精度工件台，其核心功能是承载晶圆或掩膜，并实现其六自由度上的精密定位与运动。 同时在晶圆刻蚀过程中，会受到一些外界环境干扰的影响，例如大地低频振动、掩模台较高运动加速度、以及自身大惯量部件运动所引起的振动等。此外，工件台在各自由度上的运动又相互耦合，如何在此复杂的运行中隔绝外界振动干扰，同时实现纳米级重复定位精度，给工件台的设计提出了较高要求。
2、因此，如何设计出精密的支撑机构，从而能有效消除装配定位误差与隔离地面振动干扰，并达到平台超高定位精度具有较大挑战。可以说，精密定位与隔振是实现上述精密仪器装配、测量及超精密工艺的关键支撑技术。
3、现有市面上目前对于精密工件台实现精密定位补偿的方式一般包括：机械结构式例如精密丝杆副及滚动导轨、柔性铰链式；气浮式例如空气弹簧、气浮导轨；压电陶瓷驱动与音圈电机混合式等。对于精...
【技术保护点】
1.一种磁悬浮重力平衡器，包括定子组件、动子组件、调节组件，定子组件包括定子本体，动子组件包括动子本体，动子本体设于定子本体上，动子本体中空，其特征在于，定子本体内由上到下依次设有第一定子磁环、线圈和第二定子磁环，动子本体外周上由上到下依次设有第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环，调节组件包括调节柱，调节柱上端位于动子本体内，调节柱上端外周上设有调节磁环；第一定子磁环、第二定子磁环、第二动子磁环的充磁方向为径向，第一动子磁环、第三动子磁环和调节磁环的充磁方向为轴向。
2.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环和第二动子磁环的磁场方...
【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮重力平衡器，包括定子组件、动子组件、调节组件，定子组件包括定子本体，动子组件包括动子本体，动子本体设于定子本体上，动子本体中空，其特征在于，定子本体内由上到下依次设有第一定子磁环、线圈和第二定子磁环，动子本体外周上由上到下依次设有第一动子磁环、第二动子磁环和第三动子磁环，调节组件包括调节柱，调节柱上端位于动子本体内，调节柱上端外周上设有调节磁环；第一定子磁环、第二定子磁环、第二动子磁环的充磁方向为径向，第一动子磁环、第三动子磁环和调节磁环的充磁方向为轴向。
2.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，第一定子磁环和第二动子磁环的磁场方向相同，第一定子磁环和第二定子磁环的磁场方向相反；第三动子磁环和第一动子磁环的磁场方向相反，第三动子磁环和调节磁环的磁场方向相同。
3.如权利要求1所述的磁悬浮重力平衡器，其特征在于，定子本体上设有进水口和出水口，定子本体内部对应线圈处设有水道，水道首...
【专利技术属性】
技术研发人员：龚勋，谢镐泽，刘东成，
申请(专利权)人：德瑞精工深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。