【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造装备引出电源，尤其涉及一种高压直流电源lcc变换器的开环软启动控制方法。
技术介绍
1、离子注入机是半导体制造工艺流程中的核心设备。研发离子注入机等半导体设备的核心电源，能够提升半导体装备核心部件的国产化率，实现自主可控，提升国家半导体装备产业链配套部件关键配套设备的本土供应能力，提高我国在集成电路等半导体生产制造领域的技术水平具有重大战略意义。
2、引出电源在整个离子注入机中起到至关重要的作用。一种较为成熟的高压引出电源结构主要由前级lcc变换器和后级倍压整流电路组成，其中电压增益主要由变压器和倍压整流电路提供，前级lcc谐振腔由一个串联谐振电感、一个串联谐振电容和一个并联谐振电容组成，主要用于实现对高频变压器杂散电容参数的磁集成设计。在实际应用中，由于引出电源的工作电压等级高，对lcc变换器的软启动控制提出了较高的要求。
3、高压直流电源应用于半导体制造装备中的引出电源，在高压直流电源中，lcc变换器软启动控制的本质是限制启动过程中单位周期内传输的能量，反映到宏观层面则是限制启动过程中的电...
【技术保护点】
1.一种高压直流电源LCC变换器的开环软启动控制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，目标LCC变换器的工作模态包括大占空比模态、中等占空比模态和小占空比模态，目标LCC变换器的基础工作模态包括O1模态、P1模态、O2模态、Z模态和Z1模态，大占空比模态下电路工作过程由O1模态、P1模态、O2模态、Z模态组成，中等占空比模态下电路工作过程由P1模态、O2模态、Z模态组成，小占空比模态下电路工作过程由P1模态、Z模态和Z1模态组成。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对目标LCC变换器进行工作模态分析，确定目...
【技术特征摘要】
1.一种高压直流电源lcc变换器的开环软启动控制方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，目标lcc变换器的工作模态包括大占空比模态、中等占空比模态和小占空比模态，目标lcc变换器的基础工作模态包括o1模态、p1模态、o2模态、z模态和z1模态，大占空比模态下电路工作过程由o1模态、p1模态、o2模态、z模态组成，中等占空比模态下电路工作过程由p1模态、o2模态、z模态组成，小占空比模态下电路工作过程由p1模态、z模态和z1模态组成。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对目标lcc变换器进行工作模态分析，确定目标lcc变换器的不同工作模态的控制信息，包括：
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述确定目标lcc变换器不同工作模态的占空比边界，包括：
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述不同占空比的分段函数表示为：<...
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