一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置及方法制造方法及图纸

技术编号:4300938 阅读:212 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置及方法,属于测量技术领域。该装置包括稳压室,真空阀门、容器、真空计、气瓶、真空泵;抽真空;气体流入真空容器;用真空计测量真空压力。本发明专利技术用线性真空计测量真空容器容积比的装置结构简单,由于只使用一台线性真空计,引起测量不确定度的分量也就少;测量真空度的线性真空计,不要求其测量绝对压力,也就不必知道其校准系数,从而避免了由于校准引入的不确定度;测量真空容器容积比的方法简单,测量成本低,测量不确定度小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的,属于测量

技术介绍
文献"静态膨胀法真空标准容积比测量及不确定度评定,《真空与低温》第14巻、2008年第3期、第143 145页",介绍了测量真空容器容积比的一种方法。该方法是使用活塞压力计测量膨胀前后的压力,利用电容薄膜真空计作为比较器。用活塞压力计产生一个较高的初始压力,膨胀后的压力通过一个电容薄膜真空计显示,记录下这一示值。然后将活塞压力计与电容薄膜真空计连通,并让它产生一个小压力,使与之相连的电容薄膜真空计示值尽可能的复现上次记录下的示值,记录此时活塞压力计的读数,将前后两次活塞压力计的读数相比就可以确定容积比。 这种方法的不足之处就是测量结果的不确定度大,主要原因为使用了电容薄膜真空计作为比较器时,测量膨胀后容器内的压力和在与活塞压力计连接时,通过调节活塞压力计复现之前的指示值时,不能有效防止由于温度波动对电容薄膜真空计精确复现上次记录下的指示值的影响,不能充分利用真空计的线性每台电容薄膜真空计的测量不确定度不小于0. 4% ;环境温度波动对压力变化量的测量结果影响大。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足,提供,该方法利用线性真空计两次读数的比值,避免了读数偏差引入的测量不确定度,使测量小孔流导的不确定度由以前的大于1%,减小到小于0. 3%。 本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的。 本专利技术的一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置,包括稳压室、真空阀门、容器、真空计、气瓶和真空泵;其连接关系为气瓶与稳压室通过阀门连接,稳压室与真空室通过阀门连接,真空室和真空室通过阀门连接,线性真空计直接连接在真空室上,抽气机组与真空室通过阀门连接,通过抽气机组从真空室中抽出气体。 本专利技术的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其具体实施步骤如下 1)用真空泵对容积为V的容器、容积为V的容器、稳压室和连接管道抽真空; 2)稳压室充入单一成分气体,调解阀门,使气体以恒定压力流入真空容器; 3)用线性真空计测量真空系统起始最低压力p'。和终止时最低压力p'工; 4)用线性真空计测量真空容器内起始气体压力p。、和终止气体压力Pl ; 5)容器容积比X就等于^^f _ 1 。 所述步骤1)中真空容器、稳压室和连接管道中的真空度小于IX 10—; 所述步骤2)中稳压室容积能满足容器内压力测量过程中稳压室中压力变化小于0. 01% ;所述步骤3)中真空系统起始最低压力p'。和终止时最低压力p' i压力变化小于0. 001% ; 所述步骤5)中容器容积比X取多次测量的平均值。v 有益效果 1)用线性真空计测量真空容器容积比的装置结构简单,由于只使用一台线性真空计,引起测量不确定度的分量也就少; 2)测量真空度的线性真空计,不要求其测量绝对压力,也就不必知道其校准系数,从而避免了由于校准引入的不确定度; 3)测量真空容器容积比的方法简单,测量成本低,测量不确定度小。附图说明 图1为本专利技术用线性真空计测量真空容器容积比装置的结构原理示意图; 其中,l-稳压室,2-真空阀门、3-容器、4-真空阀门、5-容器、6-真空计、7-真空阀门、8-气瓶、9-真空阀门、10-真空泵。具体实施例方式如图1所示,本专利技术采用的测量真空容器容积比装置包括稳压室1 ,真空阀门2、容器3、真空阀门4、容器5、真空计6、真空阀门7、气瓶8、真空阀门9和真空泵10。 实施例1 1)打开真空泵IO,打开真空阀门2、4、9,稳压室6和各连接管道抽成真空状态,记录下真空计6的读数p' 。(3. 305X 10—5pa)。 2)关闭阀门2,通过阀门7向稳压室1进气。 3)关闭阀门7,调节微调阀2,使气体以恒定压力流入真空容器3和5内,当真空计6的读数不再变化时,记录下真空计6的读数p。(5. 967X 10中a)。 4)关闭阀门4,打开阀门9,容器5抽成真空状态,记录下真空计6的读数p' ! (8. 634X 10—5Pa)。 5)关闭阀门9,打开阀门4,使气体进入真空容器5内,当真空计6的读数不再变化时,记录下真空计6的读数Pl (5. 793 X 10—中a)。 6)待测真空容器容积比y就等于 <formula>formula see original document page 4</formula>计算得到,值为(1.020X 102) 7)待测真空容器容积比y的相对合成标准不确定度小于0. 3% 。权利要求一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置,其特征在于该装置包括稳压室(1),真空阀门(2)、容器(3)、真空阀门(4)、容器(5)、真空计(6)、真空阀门(7)、气瓶(8)、真空阀门(9)和真空泵(10);其连接关系为气瓶(8)与稳压室(1)通过阀门(7)连接,稳压室(1)与真空室(3)通过阀门(2)连接,真空室(3)和真空室(5)通过阀门(4)连接,线性真空计(6)直接连接在真空室(5)上,抽气机组(10)与真空室(5)通过阀门(9)连接,通过抽气机组(10)从真空室(5)中抽出气体。2. —种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在于1) 用真空泵对容积为v的容器(3)、容积为V的容器(5)、稳压室和连接管道抽真空;2) 稳压室充入单一成分气体,调解阀门,使气体以恒定压力流入真空容器;3) 用线性真空计测量真空系统起始最低压力p'。和终止时最低压力p' i ;4) 用线性真空计测量真空容器内起始气体压力p。、和终止气体压力Pl ;5) 容器容积比X就等于^14-1。v A — A3. 根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在 于所述步骤1)中真空容器、稳压室和连接管道中的真空度小于1X10—屮a。4. 根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征 在于所述步骤2)中稳压室容积能满足容器内压力测量过程中稳压室中压力变化小于 0. 01%。5. 根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在 于所述步骤3)中真空系统起始最低压力p'。和终止时最低压力p' i压力变化小于 0. 001%。6. 根据权利要求2所述的一种用线性真空计测量真空容器容积比的方法,其特征在 于所述步骤5)中容器容积比X取多次测量的平均值。全文摘要本专利技术的,属于测量
该装置包括稳压室,真空阀门、容器、真空计、气瓶、真空泵;抽真空;气体流入真空容器;用真空计测量真空压力。本专利技术用线性真空计测量真空容器容积比的装置结构简单,由于只使用一台线性真空计,引起测量不确定度的分量也就少;测量真空度的线性真空计,不要求其测量绝对压力,也就不必知道其校准系数,从而避免了由于校准引入的不确定度;测量真空容器容积比的方法简单,测量成本低,测量不确定度小。文档编号G01F17/00GK101709987SQ20091025932公开日2010年5月19日 申请日期2009年12月17日 优先权日2009年12月17日专利技术者冯焱, 张涤新, 徐婕, 李得天, 郭美如, 魏万印 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种用线性真空计测量真空容器容积比的装置,其特征在于:该装置包括稳压室(1),真空阀门(2)、容器(3)、真空阀门(4)、容器(5)、真空计(6)、真空阀门(7)、气瓶(8)、真空阀门(9)和真空泵(10);其连接关系为:气瓶(8)与稳压室(1)通过阀门(7)连接,稳压室(1)与真空室(3)通过阀门(2)连接,真空室(3)和真空室(5)通过阀门(4)连接,线性真空计(6)直接连接在真空室(5)上,抽气机组(10)与真空室(5)通过阀门(9)连接,通过抽气机组(10)从真空室(5)中抽出气体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李得天徐婕张涤新冯焱郭美如魏万印
申请(专利权)人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所
类型:发明
国别省市:62[中国|甘肃]

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