【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种恒压式气体流量计波纹管体积变化的测量方法,属于真空 计量
技术介绍
在文献德国联邦物理技术研究院(PTB)气体微流量计量评介,《真空科 学与技术》,2003年第4期,第289页 294页中,介绍了一种PTB恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化量的测定方法。该方法为称重测量法,方法 如下对波纹管组件抽真空后充入经4次蒸馏和去气的水,用一个细管将波纹 管组件与一个置于灵敏天平上的容器相连接,当波纹管被压縮时,水被挤入容 器,在修正水的浮力和蒸发量后,通过测量天平上的水的质量以及密度得到波 纹管体积变化量。这种方法的不足之处在于测量过程时,不能在原位置校准,需要将变容室 从真空装置拆下,如此以来,真空系统暴露于大气,不利于真空系统的维持。 其次,在测量时需要使用水介质,需要对波纹管进行工艺处理才能重新使用, 导致测量值与实际使用值可能发生变化。再次,测量过程复杂,测量时间周期 长,PTB在17年间总记仅进行了3次测量。
技术实现思路
本专利技术的目的是为克服已有技术的不足,提出一种恒压式气体流量计变容 室波纹管体积变化的测量方法。本专利技术方法利用气体等温膨胀原理,首先通过 向变容室充入已知压力的气体,充入何种气体是由用户自行决定。之后,将气 体通入标准容器中,测得波纹管在自然状态下的变容室体积。然后,向变容室 中处于自然状态下的波纹管内通入上述气体,并压縮波纹管,使波纹管体积发4生变化,变容室内压力上升,从而测得波纹管体积变化量。本方明的恒压式气体流量计波纹管体积变化测量方法的步骤如下步骤一、对变容室、参考室管道及标准容积为^的标准容 ...
【技术保护点】
一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量方法,其特征在于包括下列步骤: 步骤一、对变容室、参考室管道及标准容积为V↓[1]的标准容器进行抽真空操作,V↓[1]的值由用户自行设定; 步骤二、在波纹管自然状态时,向变容室和参考室管道中通入压力为p的气体,p的值通过压力计测量得到;平衡变容室压力后,通过差压式压力计测量该时刻的压力值p↓[0],然后将气体膨胀到步骤一中的标准容器中;待压力再次平衡后,通过差压式压力计记录该时刻的压力值p↓[1],则变容室体积为V=(p↓[1]+p).V↓[1]/(p↓[0]-p↓[1]); 步骤三、对变容室和参考室管道进行抽真空操作; 步骤四、在波纹管自然状态时,向变容室和参考室管道中通入压力p↓[2]的气体,p↓[2]的值通过压力计测量;平衡变容室压力后,通过差压式压力计测量该时刻的压力值p↓[3];然后,通过压缩波纹管,产生波纹管体积变化ΔV;待平衡压力后,通过差压式压力计记录该时刻的压力值p↓[4],则变容室体积变化为
【技术特征摘要】
1、一种恒压式气体流量计变容室波纹管体积变化的测量方法,其特征在于包括下列步骤步骤一、对变容室、参考室管道及标准容积为V1的标准容器进行抽真空操作,V1的值由用户自行设定;步骤二、在波纹管自然状态时,向变容室和参考室管道中通入压力为p的气体,p的值通过压力计测量得到;平衡变容室压力后,通过差压式压力计测量该时刻的压力值p0,然后将气体膨胀到步骤一中的标准容器中;待压力再次平衡后,通过差压式压力计记录该时刻的压力值p1,则变容室体积为步骤三、对变容室和参考室管道进行抽真空操作;步骤四、在波纹管自然状态时,向变容室和参考室管道中通入压力p2的气体,p2的值通过压力计测量;平衡变容室压力后,通过差压式压力计测量该时刻的压力值p3;然后,通过压缩波纹管,产生波纹管体积变化ΔV;待平衡压力后,通过差压式压力计记录该时刻的压力值p4,则变容室体积变化为2...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵澜,张涤新,成永军,冯焱,宋瑞海,卢耀文,
申请(专利权)人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所,
类型:发明
国别省市:62[中国|甘肃]
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