线光学系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于在工作平面(26)上生成经限定的激光线(24)的线光学系统(10)，该线光学系统具有：用于生成至少一个激光射束(20)的至少一个激光源(12)；光学组件(14)，该光学组件被配置成用于由该至少一个激光射束(20)沿射束路径生成照射射束(22)，其中照射射束(22)限定与工作平面(26)相交的射束方向，其中照射射束(22)在工作平面(26)的区域中形成经限定的激光线(24)，其中光学组件(14)在射束路径中具有聚焦单元(18)，该聚焦单元具有用于聚焦照射射束(22)的聚焦镜头(28)，其中聚焦镜头(28)能够平行于射束方向移动；相机系统(36)，该相机系统被配置成用于在聚焦镜头(28)的射束下游的至少三个限定位置处观察照射射束(22)，其中照射射束(22)在该至少三个限定位置中的每个限定位置处均具有聚焦状态；以及控制装置(44)，该控制装置被配置成用于基于该至少三个限定位置处的聚焦状态来确定聚焦镜头(28)的焦点的焦点位置，并且用于平行于射束方向调节聚焦镜头(28)的位置，使得该焦点位置布置在工作平面(26)中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种用于在工作平面上生成经限定的激光线的线光学系统。

技术介绍

1、这样的线光学系统基本上是从us2006/182155 a1中已知的。

2、这样的线光学系统的线形激光照射可以有利地用于对工件进行热处理。工件例如可以是用作载体材料的玻璃板上的塑料材料。塑料材料尤其可以是在其上制造有机发光二极管(所谓的oled)和/或薄膜晶体管的薄膜。oled薄膜越来越多地用于智能手机、平板电脑、电视机和其他带屏幕显示器的设备中的显示器。在制造电子结构之后，必须使薄膜与玻璃载体分离。这可以利用呈细激光线形式的激光照射来实现，使该激光线以经限定的速度相对于玻璃板运动并且在此贯穿整个玻璃板断开薄膜的粘附连接。此类应用在实践中通常被称为llo或激光剥离(laser lift off)技术。

3、用经限定的激光线顺序照射工件的另一个广泛使用的应用可以是在载体板上逐行地熔化非晶硅。在此，也使激光线以经限定的速度相对于工件表面移动。通过熔化并随后进行冷却，可以将相对成本有效的非晶硅转化成价值更高的多晶硅。在实践中，此类应用通常被称为固态激光退火sl本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于在工作平面(26)上生成经限定的激光线(24)的线光学系统(10)，所述线光学系统具有：

2.根据权利要求1所述的线光学系统(10)，其中，所述相机系统(36)布置在所述工作平面(26)的射束下游。

3.根据权利要求1所述的线光学系统(10)，其中，所述线光学系统(10)具有布置在所述聚焦单元(18)的射束下游的另外的光学器件(48，50)，其中，所述另外的光学器件(48，50)被配置成用于对所述照射射束(22)进行分割，其中，所述照射射束(22)的一部分向所述工作平面(26)的方向延伸，而所述照射射束(22)的另一部分向所述相机系统(36)的方向延伸...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于在工作平面(26)上生成经限定的激光线(24)的线光学系统(10)，所述线光学系统具有：

2.根据权利要求1所述的线光学系统(10)，其中，所述相机系统(36)布置在所述工作平面(26)的射束下游。

3.根据权利要求1所述的线光学系统(10)，其中，所述线光学系统(10)具有布置在所述聚焦单元(18)的射束下游的另外的光学器件(48，50)，其中，所述另外的光学器件(48，50)被配置成用于对所述照射射束(22)进行分割，其中，所述照射射束(22)的一部分向所述工作平面(26)的方向延伸，而所述照射射束(22)的另一部分向所述相机系统(36)的方向延伸。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的线光学系统(10)，其中，所述相机系统(36)具有用于拍摄至少一个图像的至少一个相机(40)，其中，所述至少一个图像具有所述照射射束(22)在所述至少三个限定位置处的成像。

5.根据权利要求4所述的线光学系统(10)，其中，所述相机系统(36)具有分束器(42)，所述分束器被配置成用于将所述照射射束(22)分成多个子射束，其中，所述至少一个相机(40)被配置成用于使所述多个子射束成像在所述至少一个图像中，其中，所述多个子射束的成像对应于所述照射射束(22)在所述至少三个限定位置处的成像。

6.根据权利要求4或5所述的线光学系统(10)，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·海梅斯，C·伊里翁，T·希罗尼穆斯，
申请(专利权)人：通快激光与系统工程有限公司，
类型：发明
国别省市：