【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种双面植针探针卡。
技术介绍
1、在半导体集成电路行业中，在全自动测试系统上进行晶圆级的可靠性测试时通常会使用到探针卡(probe card)来进行辅助测试，现有的探针卡是将探针(probe)的一端固定在电路板(pcb)上，然后再通过电路板与wat测试机连接，探针的另一端则与晶圆上的每一块测试单元(dut)的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。探针卡通过连接wat测试机和晶圆上的待测芯片，对待测芯片的直流参数或交流参数进行测量，由于晶圆后期的封装费用是相当昂贵的，因此在封装前，有必要对晶圆进行测试，以剔除不合格的管芯，来降低后期的封装费用。而探针卡上的探针是可以直接与待测芯片上的焊盘（pad）接触的，探针卡作为媒介可将wat测试机输出的电信号传输到待测芯片上，再配合wat测试机与软件控制达到自动化量测的目的。因此探针卡对于晶圆级测试是非常重要的，而且其影响也很大。
2、目前，对晶圆进行wat测试时，wat测试机的开关矩阵板卡（pin board）通过弹簧针（pogo pin）与探针卡的电路板...
【技术保护点】
1.一种双面植针探针卡，其特征在于，包括电路板及多根探针，所述电路板具有相对设置的两个植针面，多根所述探针分别设置在两个所述植针面上，两个所述植针面上的探针分别用于对产品进行WAT测试。
2.根据权利要求1所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针数量不同，两个所述植针面上的探针测试的产品类型不同。
3.根据权利要求1所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针数量相同。
4.根据权利要求3所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针排布方式相同。
5.根据权利要求4所述的双面植针探...
【技术特征摘要】
1.一种双面植针探针卡，其特征在于，包括电路板及多根探针，所述电路板具有相对设置的两个植针面，多根所述探针分别设置在两个所述植针面上，两个所述植针面上的探针分别用于对产品进行wat测试。
2.根据权利要求1所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针数量不同，两个所述植针面上的探针测试的产品类型不同。
3.根据权利要求1所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针数量相同。
4.根据权利要求3所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所述植针面上的探针排布方式相同。
5.根据权利要求4所述的双面植针探针卡，其特征在于，两个所...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴昌付，赵利华，赵志伟，
申请(专利权)人：杭州积海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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