【技术实现步骤摘要】
本公开涉及计算机视觉。更具体地，涉及一种对位方法、曝光控制系统、存储介质及计算机程序产品。
技术介绍
1、数字曝光机是一种在印刷、光刻、电子制造等领域广泛应用的设备，它利用数字控制技术实现精确的曝光过程，通过精确控制光源的照射时间和强度，将图案或图像从电子掩模版转移到感光材料(如胶片、pcb板等)上，这一过程是许多工业制造流程中的关键步骤，如半导体制造、电路板生产、显示屏制造等高精度工业领域。
2、其中，对位(alignment)是曝光工艺中极其关键的步骤，它确保了不同层之间的精确对准，以保证产品的最终质量和性能。在数字曝光机中，需要利用电子模版进行对位标记的识别和检测，当模版选取不合适时容易出现对位报警以及设备停机。
技术实现思路
1、本公开的目的在于提供一种对位方法、曝光控制系统、存储介质及计算机程序产品，以解决相关技术中对位过程中模版选择不合适容易导致对位报警以及设备停机的技术问题。
2、为达到上述目的，本公开采用下述技术方案：
3、本公开第一方面...
【技术保护点】
1.一种对位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，输出对位报警信号和对位图像的步骤之后还包括：
3.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别的步骤之前还包括：
4.根据权利要求3所述的对位方法，其特征在于，所述待曝光产品中包括至少一个对位标记，所述对位结果包括与所述对位标记一一对位的对位评分；对于任一对位标记，在所述待曝光产品与所述位置信息对应的第一区域内，通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别，并生成所述目标对位模版与所述...
【技术特征摘要】
1.一种对位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，输出对位报警信号和对位图像的步骤之后还包括：
3.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别的步骤之前还包括：
4.根据权利要求3所述的对位方法，其特征在于，所述待曝光产品中包括至少一个对位标记，所述对位结果包括与所述对位标记一一对位的对位评分；对于任一对位标记，在所述待曝光产品与所述位置信息对应的第一区域内，通过目标对位模版对待曝光产品中的对位标记进行对位识别，并生成所述目标对位模版与所述对位标记的对位结果的步骤包括：
5.根据权利要求4所述的对位方法，其特征在于，所述对位标记包括标记形状和标记类型，所述标记类型包括边特征显著和内部特征显著，所述目标对位模版包括模版形状和模版类型，所述模版类型包括边特征显著和内部特征显著；检测第一区域内是否存在与所述目标对位模版匹配的对位标记的步骤包括：
6.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，所述待曝光产品中包括多个对位...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘栋，冯京，刘鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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