一种由激光激活化学镀制备的应力传感器及其制备方法技术

技术编号:42979079 阅读:30 留言:0更新日期:2024-10-15 13:15
本发明专利技术公开了一种由激光激活化学镀制备的应力传感器及其制备方法,属于柔性电子器件制备技术领域。主要包括传感器,所述传感器包括上层,所述上层的下侧设置有基底,所述基底为由柔性聚合物与光激活催化剂组成,所述上层为由激光催化化学镀形成的与底层紧密相连的金属导电层。本申请的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器及其制备方法,通过激光激活化学镀技术,实现了器件的多层结构排布,兼具高灵敏度与大可拉伸性且成本较低易于大规模制备和图案化设计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及柔性电子器件制备,更具体地说,它涉及一种由激光激活化学镀制备的应力传感器及其制备方法


技术介绍

1、柔性电子是近年来涌现的一项新的变革性技术,是将电子材料与器件沉积在柔性基板上,从而赋予传统电子材料与器件没有的可弯曲、可折叠、可拉伸等新颖特性,在近几年随着新材料、新工艺的研究在国内外学术界和产业界得到了大力的发展。

2、可拉伸应变传感器对于新兴的软电子领域至关重要,包括可穿戴和可植入设备、具有人造皮肤的类人机器人、和仿生感觉系统。例如,它们可用于治疗运动障碍、用于主动脉夹层治疗的植入人造血管的微应变检测、神经接口电极、和心跳监测。此外,可拉伸应变传感器在触摸传感、关节运动控制和热膨胀监测等方面在机器人人工感觉系统的构建中发挥着关键作用。

3、但目前的可拉伸金属应变传感器存在着大拉伸性与高灵敏度的相矛盾、制造成本高、大规模制造复杂等问题,使得器件很难兼顾高灵敏度与大的可拉伸范围,而且制作成本和设备要求过高都极大程度上限制了应力传感器的发展。

4、因此,研究出一种能兼顾高拉伸性与高灵敏度,同时能够低成本的实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:包括传感器,所述传感器包括上层,所述上层的下侧设置有基底,所述基底为由柔性聚合物与光激活催化剂组成,所述上层为由激光催化化学镀形成的与底层紧密相连的金属导电层。

2.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述基底中的光激活催化剂中含有受激光激活后能与化学镀溶液发生置换反应的催化剂。

3.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述传感器表面金属层的形状、厚度受激光处理方式的影响。

4.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感...

【技术特征摘要】

1.一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:包括传感器,所述传感器包括上层,所述上层的下侧设置有基底,所述基底为由柔性聚合物与光激活催化剂组成,所述上层为由激光催化化学镀形成的与底层紧密相连的金属导电层。

2.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述基底中的光激活催化剂中含有受激光激活后能与化学镀溶液发生置换反应的催化剂。

3.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述传感器表面金属层的形状、厚度受激光处理方式的影响。

4.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述传感器的拉伸性能由固化剂比例、基底厚度决定。

5.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述传感器的可工作范围由金属层厚度、基底参杂比例、金属层激光处理方式与器件尺寸共同决定。

6.根据权利要求1所述的一种由激光激活化学镀制备的应力传感器,其特征在于:所述基底的柔性聚合物中含...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄振龙阳龙鹏谢鸿炜
申请(专利权)人:能芯常州电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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