一种OLED蒸镀机修正板定位机构制造技术

本技术涉及蒸镀机技术领域，尤其为一种OLED蒸镀机修正板定位机构，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内上部两侧壁安装有安装板，所述两个安装板之间贯穿安装有丝杆与限位杆，所述限位杆安装在丝杆上方，所述丝杆一端与驱动电机输出端相连，所述驱动电机设置在蒸镀腔外部，调节机构套装在丝杆上，用于移动修正板到适当的位置，伸缩机构固定套接在调节机构一侧，用于调节修正板的角度和位置，修正板安装在伸缩机构末端，用于修正膜厚分布；该OLED蒸镀机修正板定位机构，通过设置调节机构，可对修正板进行位移，修正板设置为可伸缩型，可以调节蒸镀源的蒸发物分布，使蒸发物在镀膜基板上均匀散开，从而使镀膜基板上的薄膜厚度一致。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀机，具体为一种oled蒸镀机修正板定位机构。

技术介绍

1、真空镀多膜层工艺中，在蒸发前可以单层调试出对应材料、对应速率的高均匀性修正板，再在多膜层工艺中组合中复用，以提高整体的膜厚均匀性。现有国内外生产设备只有单一均匀性修正板，因不同材料不同蒸发速率所产生的蒸发云各点速率不同，很难制作出一个通用的穹顶适应所有材料的不同速率蒸发，就必然造成蒸发的不均匀性，所以需要穹顶和均匀性修正板配合来获得蒸发的整体均匀性，但是只使用一个均匀性修正板很难将多个膜层的均匀性都调整到较高水平。

2、为了解决上述现有技术存在的不足经检索发现：授权公告号为cn113265622a公开了一种真空蒸镀机的修正板系统，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构，修正板结构包括竖杆、与竖杆的下部连接并水平设置的横杆、位于横杆的前部并水平设置的柳叶形的修正叶，所述修正叶与横杆固定，横杆与竖杆固定，所述横杆位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，从而带动横杆和修正叶以竖杆为中心水本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种OLED蒸镀机修正板定位机构，其特征在于，包括：蒸镀腔(1)，所述蒸镀腔(1)内上部两侧壁安装有安装板(2)，所述安装板(2)之间贯穿安装有丝杆(3)与限位杆(4)，所述限位杆(4)安装在丝杆(3)上方，所述丝杆(3)一端与驱动电机(5)输出端相连，所述驱动电机(5)设置在蒸镀腔(1)外部；

2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀机修正板定位机构，其特征在于，所述调节机构(6)包括滑动块(9)、旋转电机(10)和转动轴(11)，所述滑动块(9)内部设有与丝杆(3)啮合的螺纹(27)，所述滑动块(9)滑动安装在限位杆(4)和丝杆(3)的外壁上，能够通过丝杆(3)的转动...

【技术特征摘要】

1.一种oled蒸镀机修正板定位机构，其特征在于，包括：蒸镀腔(1)，所述蒸镀腔(1)内上部两侧壁安装有安装板(2)，所述安装板(2)之间贯穿安装有丝杆(3)与限位杆(4)，所述限位杆(4)安装在丝杆(3)上方，所述丝杆(3)一端与驱动电机(5)输出端相连，所述驱动电机(5)设置在蒸镀腔(1)外部；

2.根据权利要求1所述的一种oled蒸镀机修正板定位机构，其特征在于，所述调节机构(6)包括滑动块(9)、旋转电机(10)和转动轴(11)，所述滑动块(9)内部设有与丝杆(3)啮合的螺纹(27)，所述滑动块(9)滑动安装在限位杆(4)和丝杆(3)的外壁上，能够通过丝杆(3)的转动沿限位杆(4)的外壁滑动，所述转动轴(11)一端贯穿滑动块(9)与旋转电机(10)输出端连接，另一端固定套接有伸缩机构(7)，所述旋转电机(10)通过电缆(28)与外部电源相接通。

3.根据权利要求1所述的一种oled蒸镀机修正板定位机构，其特征在于，所述伸缩机构(7)包括端部带有弹性销(12)的芯管(13)、管壁上开设有定位孔(14)的外管(15)和套设在外管(15)端部的定位环(16)，所述外管(15)通过连接件(17)与转动轴(11)固定套接，所述芯管(13)套接进外管(15)内，所述弹性销(12)能弹入定位孔(14)中，形成芯管(13)与外管(15)之间的定位，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨木森，李星，王治学，
申请(专利权)人：安徽微迈思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：