一种应用于半导体检测的短波红外工业镜头制造技术

本发明专利技术涉及一种应用于半导体检测的短波红外工业镜头，包括由物面至像面依次设置的透镜A、透镜B、透镜C、透镜D1、透镜D2、透镜E、可变光阑S、透镜F1、透镜F2、透镜G1和透镜G2；透镜B、透镜D2、透镜E、透镜F1和透镜G1具有正光焦度；透镜A、透镜C、透镜D1、透镜F2和透镜G2具有负光焦度；透镜D1和透镜D2相胶合，透镜F1和透镜F2相胶合，透镜G1和透镜G2相胶合；光学镜头中具有光焦度的透镜的数量为10。该镜头的成像圆大小≥28MM，能匹配靶面较大的相机使用而保持周边有良好的照度，保持整个拍摄画面亮度均匀，在工业检测的时候对比度均匀更好识别被摄物体可能存在的瑕疵和不良从而筛选出来，避免了不良产品的流出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种应用于半导体检测的短波红外工业镜头，属于光学镜头。

技术介绍

1、短波红外是波段在0.9μm～1.7μm范围之间的光，对于人眼来说是不可见的。短波红外主要来源于太阳光和夜天光，其中，太阳光中的短波红外的能量比值占据了40％以上，夜天光中的黄道光、太空辉光、银河光、星光直射与散射中短波红外占据了60％以上，基于此短波红外可以实现昼夜成像。特别是夜间成像这一特点，使得人们在低照明度的夜间可以清晰地看到人眼无法看到的目标，即短波红外镜头可以在微光环境下实现人眼不可见的秘密成像。

2、短波红外镜头在半导体检测领域大规模应用。现有技术中的短波红外镜头存在相对照度低，视场不够大的问题。

3、申请号为cn202123183439.7的专利公开了一种适用0.4-5um的多色探测系统的超宽光谱高频制冷镜头，该镜头适用于可见光、近红外、短波、中波多色探测器，对角线视场角可达14°，适用于多光谱成像、多光谱物质吸收检测，工业晶圆良品检测。

4、但是，该专利技术在视场较大时，相对照度不能满足特定场景的要求。

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在于，包括由物面至像面依次设置的透镜A、透镜B、透镜C、透镜D1、透镜D2、透镜E、可变光阑S、透镜F1、透镜F2、透镜G1和透镜G2；

2.根据权利要求1所述应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在于，所述透镜A为弯月负透镜，所述透镜B为弯月正透镜，所述透镜C为弯月负透镜，所述透镜D1为双凹负透镜，所述透镜D2为双凸正透镜，所述透镜E为双凸正透镜，所述透镜F1为双凸正透镜，所述透镜F2为双凹负透镜，所述透镜G1为双凸正透镜，所述透镜G2为弯月负透镜。

3.根据权利要求2所述应用于半导体检测的短波红外工业镜头，...

【技术特征摘要】

1.一种应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在于，包括由物面至像面依次设置的透镜a、透镜b、透镜c、透镜d1、透镜d2、透镜e、可变光阑s、透镜f1、透镜f2、透镜g1和透镜g2；

2.根据权利要求1所述应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在于，所述透镜a为弯月负透镜，所述透镜b为弯月正透镜，所述透镜c为弯月负透镜，所述透镜d1为双凹负透镜，所述透镜d2为双凸正透镜，所述透镜e为双凸正透镜，所述透镜f1为双凸正透镜，所述透镜f2为双凹负透镜，所述透镜g1为双凸正透镜，所述透镜g2为弯月负透镜。

3.根据权利要求2所述应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在于，所述透镜e和所述可变光阑s之间的距离浮动设置。

4.根据权利要求2所述应用于半导体检测的短波红外工业镜头，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈庆梅，沈银娣，吴金森，江健熹，
申请(专利权)人：福建优恩立光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：