一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔制备方法技术

本发明专利技术提供了一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔制备方法，利用“样品转移”法将制备的氮化硅微环谐振腔样品转移至D型光纤上；聚合物锥形波导设计与微环谐振腔样品上的氮化硅波导端面耦合，能够为微环谐振腔提供2个端口，两根弯曲聚合物锥形波导分别与D型单模光纤中两个侧壁的纤芯区域相连。聚合物锥形波导采用飞秒激光诱导双光子聚合技术(TPP)打印。将用于产生光频梳的微环谐振腔样品直接集成到单根光纤上，可以极大提高微腔与泵浦源的耦合效率与稳定性，不需要额外的模斑转换器，降低微腔光频梳的产生与测试难度，减小封装尺寸，提高微腔光梳光源的集成度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于全光纤集成光学器件领域，尤其涉及一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔结构及加工方法。

技术介绍

1、光学频率梳(简称光频梳)在20世纪70年代提出，时域上表现为等间隔排列的超短脉冲序列，频域上表现为一系列相位相干的分立谱线，在精密测量、时间频率传递、高速激光通信领域体现出重大科学意义和应用研究价值。与光纤锁模激光器光梳和电光调制器光梳相比，微腔光频梳具有低功耗、小尺寸、可单片集成等优势，微腔光频梳于2007年由瑞士士洛桑理工学院(epfl)kippenberg课题组首次提出以来，已成为近年来的研究热点。

2、目前芯片微腔光频梳的产生需要通过光纤透镜或者光纤阵列与单模光纤耦合，整体尺寸大，结构稳定性差，耦合效率低，是微腔光频梳实用化的主要障碍之一。文献multiple modes of a photonic crystal cavity on a fiber tip formultipleparameter sensing”、“scalable wafer-to-fiber transfer method forlab-on-fib本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：包括D型光纤、WGM谐振腔、氮化硅波导、聚合物锥形波导；

2.根据权利要求1所述的一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：在平面抛光区域对称两侧设计用于聚合物锥形波导加工的凹槽，凹槽从光纤纤芯部分一直延申至抛光区域中心用作样品转移部分的边缘；凹槽所在区域为光纤纤芯与氮化硅波导的耦合区域，通过凹槽实现耦合区域聚合物锥形波导与光纤主体结构的分离。

3.根据权利要求1所述的一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：所述的WGM谐振腔为微环谐振腔。

<p>4.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：包括d型光纤、wgm谐振腔、氮化硅波导、聚合物锥形波导；

2.根据权利要求1所述的一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：在平面抛光区域对称两侧设计用于聚合物锥形波导加工的凹槽，凹槽从光纤纤芯部分一直延申至抛光区域中心用作样品转移部分的边缘；凹槽所在区域为光纤纤芯与氮化硅波导的耦合区域，通过凹槽实现耦合区域聚合物锥形波导与光纤主体结构的分离。

3.根据权利要求1所述的一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：所述的wgm谐振腔为微环谐振腔。

4.根据权利要求3所述的一种用于生成光频梳的光纤上微环谐振腔耦合结构，其特征在于：所述的微环谐振腔为氮化硅微环谐振腔。

5.根据权利要求1所述的一种用于生成光频梳的光纤上...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖林，付中原，张子越，杨策，谢阳，杨宏志，
申请(专利权)人：中国航天科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：