一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机制造技术

技术编号:4289831 阅读:351 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机,其蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚。本发明专利技术能够在蒸镀上铝膜后,马上在蒸镀好铝膜的表面蒸镀上铝加强层,两个蒸发步骤同时进行,实现了铝金属化电容器留边加厚,最大优点是形成以层天然氧化层,抗潮湿能力强,储存周期长,自愈性能好,自愈后金属化膜能生成Al2O3,不影响电容器参数。同时本发明专利技术提高了整个镀膜的质量,同时也提高了蒸镀效率,解决了国内外现有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。同时本发明专利技术的全铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机还能用来生产纯铝的金属化电容器用的薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机,特别涉及一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机
技术介绍
现有的金属化电容器用薄膜,是在作为介质材料的基膜(如聚脂薄膜、聚丙烯薄 膜等绝缘材料)上用真空镀膜机在高真空条件下采用金属加热蒸发技术镀上金属极板,金 属级板可分单铝镀层和铝加厚两层,因其具有独特的自愈特性,广泛用于制造各类电力补 偿用或马达启动用交流电容器和直流滤波电容器。金属化薄膜独特的自愈性能,可明显改 善和提高金属化薄膜电容器的耐电压能力和使用寿命。在电容器热击穿时挥发,自愈性更 加优良,因此铝锌复合金属化薄膜较铝金属化膜具有更好的耐压特性。目前金属化薄膜一 般是在整个薄膜先蒸镀上一层铝膜,然后在铝膜上再蒸镀上一层锌加强层,该加强层的宽 度一般要比薄膜的宽度小很多,一般位于金属化电容器薄膜的中间,这样既不影响薄膜的 耐压性能,又能提高金属化薄膜的自愈性能。 目前,现有的真空蒸发镀膜机只能单独镀铝膜或锌膜或锌铝合金膜,如中国专利技术 专利授权公告号CN1191386C公开的一种锌铝真空蒸发镀膜机,该锌铝真空蒸发镀膜机的 锌坩埚和铝坩埚全部设置在一个镀膜室内,蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机,包括卷绕系统、真空镀膜室、冷冻系统,扩散泵、阀门、罗茨泵、滑阀泵组成的第一抽真空系统和冷阱式的第二真空系统以及蒸发源,其特征在于,其特征在于,所述蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚,所述第一铝坩埚与主辊之间的连线和第二铝坩埚与主辊之间的连线之间的夹角为40-50度。

【技术特征摘要】
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的真空蒸发镀膜机,包括卷绕系统、真空镀膜室、冷冻系统,扩散泵、阀门、罗茨泵、滑阀泵组成的第一抽真空系统和冷阱式的第二真空系统以及蒸发源,其特征在于,其特征在于,所述蒸发源包括安装于真空镀膜室一侧壁上的同步实施蒸镀铝膜步骤的第一铝坩埚和蒸镀铝加强层步骤所使用的第二铝坩埚,所述第一铝坩埚与主辊之间的连线和第二铝坩埚与主辊之间...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐朝明
申请(专利权)人:上海奥移电器有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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