一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法技术

本发明专利技术提供了一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，本发明专利技术选择4038cm<supgt;‑1</supgt;处的峰作为氟化氢定量分析的特征吸收峰，建立不同浓度氟化氢标准曲线，然后测试三氟化硼样品，根据氟化氢标准曲线得出三氟化硼中氟化氢含量。本发明专利技术能够快速、准确的测定三氟化硼中氟化氢的含量，危险系数低，操作方便快捷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体分析检测，尤其涉及一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法。

技术介绍

1、三氟化硼，是一种无机化合物，分子式为bf3，是无色不燃的气体，溶于冷水、浓硫酸和多数有机溶剂，遇潮湿空气生成浓密的白烟。三氟化硼是半导体领域不可或缺的原材料，主要应用于离子注入、刻蚀和掺杂等工艺，是芯片先进制程中的重要气体之一。高纯三氟化硼中氟化氢含量一旦超标，可能会造成用户物料报废、设备损坏等严重后果，因此对高纯三氟化硼中氟化氢的检测是尤为重要的。

2、在现有的工艺技术中，制备三氟化硼主要分为干法和湿法，其中主要包括萤石硼酸法、氟硼酸盐分解法、直接氟化法等。制备得到的三氟化硼中均含有hf等杂质。目前，未有文献报道三氟化硼中氟化氢的测试方法，因此开发一种测定三氟化硼中氟化氢含量的方法是非常重要的。

技术实现思路

1、针对
技术介绍
中存在的问题，本专利技术提出了一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，该方法操作安全，简单，快速，准确度高。

2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于：红外光谱扫描条件为：窗片为BaF2；检测器为MCT；分辨率为4cm-1；进样压力为-50kPa。

3.根据权利要求1所述的一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于：选择4038cm-1处的峰作为氟化氢的红外特征吸收峰。

4.根据权利要求1所述的一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于：氟化氢标准气体的浓度不高于10ppm，其平衡气为氮气。>

5.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的方法，其特征在于：红外光谱扫描条件为：窗片为baf2；检测器为mct；分辨率为4cm-1；进样压力为-50kpa。

3.根据权利要求1所述的一种红外光谱法测定三氟化硼中痕量氟化氢的...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪珊珊，解晓虎，马朝选，刘志阳，吕舜，王中彪，张威，赵志刚，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：