【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于一种自动光学复判系统以及自动光学复判方法,尤指一种结合荧光与白光的多重自动光学复判系统以及多重自动光学复判方法。
技术介绍
1、现行的光学检测设备,包括用于半导体、pcb、lcd等的各段制程中的光学检测设备,都有搭配复检设备,其目的是为了将由光学检测设备而获得的缺陷影像,再经由另一独立的显示装置(复判显示设备)显示以供人员进行重复检查,作为复判之用,借以降低过检、漏检。
2、随着人力费用的提高,传统采用一人一机式的人工影像复检作法,对人力成本的耗费过高,但是若不进行复检程序,仅能通过更高规格的光学拍摄方式或检测演算法方式来解决“第一次检测”的过检、漏检问题,此举反而会导致“第一次检测”的检测时间大幅增加,无法达到工业化量产需求与工作效率。
3、再者,当原有的检测设备与复检设备各自为不同的系统或产线时,势必需要先校正两个设备之间的坐标系统,并且不同的检测设备所提供的信息于规格、参数或影像解析度等不尽相同,难以同时相容于单一的复检设备,无法实现不同设备或系统之间的整合或协调作业。
【技术保护点】
1.一种多重自动光学复判系统,其特征在于,由外部接收一检测信息与对应该检测信息的一待测物,该系统包括:
2.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该瑕疵筛选模组根据荧光复判结果,判断该白光成分影像是否为真实瑕疵影像,以产生该白光复判结果。
3.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该影像撷取装置根据荧光复判结果,拍摄该瑕疵区域,以获得该白光成分影像。
4.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该瑕疵筛选模组比较该荧光成分影像与一参考影像,判断该荧光成分影像是否为真实瑕疵影像,以产生该荧
...【技术特征摘要】
1.一种多重自动光学复判系统,其特征在于,由外部接收一检测信息与对应该检测信息的一待测物,该系统包括:
2.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该瑕疵筛选模组根据荧光复判结果,判断该白光成分影像是否为真实瑕疵影像,以产生该白光复判结果。
3.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该影像撷取装置根据荧光复判结果,拍摄该瑕疵区域,以获得该白光成分影像。
4.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该瑕疵筛选模组比较该荧光成分影像与一参考影像,判断该荧光成分影像是否为真实瑕疵影像,以产生该荧光复判结果;
5.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,该白光成分影像包括一红光成分影像、一绿光成分影像以及一蓝光成分影像。
6.根据权利要求1所述的多重自动光学复判系统,其特征在于,瑕疵筛选模组包括一神经网路模型,以判断该荧光成分影像与该白光成分影像是否为真实...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹嘉骏,徐敏堂,李伟圣,黄柏仁,
申请(专利权)人:由田新技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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