固态成像装置，其制造方法和照相机制造方法及图纸

一种制造固态成像装置的方法，包括下述步骤：在基板上形成的光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光并光电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷；在受光面上形成把光引导到受光面的光波导；和在光波导上形成使光着色并使着色后的光射向光波导的滤色器，其中在形成滤色器时，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后进行显影处理，由光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导时，形成光波导的核心部分，以致核心部分吸收当进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。本发明专利技术还涉及照相机。

【技术实现步骤摘要】
,其制造方法和照相机的制作方法
本专利技术涉及，其制造方法和照相机。更具体地说，本专利技术涉及一种固态成像装置，它包括在受光面接收光、并光电转换在受光面接收的光从而产生信号电荷的 光电转换部分，和把光引导到受光面的光波导，制造该的方法和包括该固态 成像装置的照相机。
技术介绍
照相机，比如数字视频照相机和数字静态照相机包括。例如，这种照 相机包括互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器，或电荷耦合器件(CCD)图像传感器作 为。 在中，设置多个像素的成像区被布置在半导体基板的表面上。在该成像区中，设置接收来自被摄体图像的光，并光电转换接收的光，从而产生信号电荷的多个光电转换部分，以便对应于多个像素。例如，设置光电二极管作为光电转换部分。 在这种中，随着像素数目的增大，每个像素的单元尺寸被减小。从而，每个像素接收的光的量降低，导致灵敏度降低。 从而，为了增大光聚焦效率，以改善灵敏度，为每个像素构成一个光波导。 具体地说，光波导由具有高折射率的光学材料构成，包括引导光的核心部分。在核 心部分周围设置折射率比核心部分低的包覆部分。从而，在光波导中，在核心部分和包覆部 分之间的边界，入射光能够被完全反射。因此，通过设置光波导，能够提高光聚焦效率，从而 改善灵敏度。例如，核心部分由有机树脂材料构成(例如，参见未经审查的日本专利申请公 开No. 2006-222270和2006-156799)。 另外，在这种中，在光波导的核心部分上设置滤色器。在滤色器中， 光被着色并被射向光波导。所述滤色器是利用照相平版印刷技术形成的。 具体地说，例如，通过涂覆包含染料的光敏树脂膜，随后顺序对光敏树脂膜进行曝 光处理和显影处理，形成滤色器。
技术实现思路
在如上所述的利用照相平版印刷技术形成滤色器的过程中，难以高精度地使滤色 器图形化。从而，获得的图像的画质会被降低。 此外，由于在利用照相平版印刷技术形成滤色器的过程中残存的光敏树脂膜的残 留物的影响，上述问题会变得严重。这种问题主要是由在对光敏树脂膜的曝光处理中，曝光 光线在置于光敏树脂膜之下的一层的反射造成的。 在另一种情况下，由于滤色器和置于滤色器之下的光波导之间的附着力不足，设 备的可靠性被降低。 从而，为了解决上述问题，可在光敏树脂膜之下设置底层平面化膜，所述底层平面 化膜被配置成提供防反射功能和附着功能。 不过，底层平面化膜的形成增大了生产步骤的数目，从而降低生产效率。此外，由于底层平面化膜的存在，光电转换元件接收的光的量降低，从而降低灵敏度。 于是，难以充分解决上面描述的问题。 因此，最理想的是提供一种能够改善获得的图像的画质，并且能够提高生产效率的，制造该的方法，和包括该的照相机。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种制造的方法，包括在基板上形成光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光，并光电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷，在受光面的上方形成把光引导到受光面的光波导，和在光波导的上方形成使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器，其中，在形成滤色器的步骤中，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理，由光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导的步骤中，形成光波导的核心部分，以致核心部分吸收当在形成滤色器的步骤中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。 在形成光波导的步骤中，最好这样形成核心部分，以致核心部分包含吸收曝光光 线的染料。 在形成光波导的步骤中，最好这样形成核心部分，以致核心部分包含吸收曝光光 线的树脂。 在形成光波导的步骤中，树脂最好包括共轭双键(conjugateddouble bond)。 形成光波导的步骤最好包括进行表面处理的步骤，在所述表面处理中，树脂的共 轭双键被断开，以致构成核心部分的树脂在核心部分的面对滤色器的表面吸收曝光光线。 最好，按照本专利技术的一个实施例的制造的方法还包括形成密切接触 滤色器和光波导的核心部分的粘合层的步骤，形成粘合层的步骤是在形成光波导的步骤和 形成滤色器的步骤之间执行的。在形成粘合层的步骤中，最好这样形成粘合层，以致粘合层 包含在形成滤色器的步骤中使用的树脂。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种制造的方法，包括在基板上形 成的光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光，并光电转换在受光面上接收的 光，从而产生信号电荷，在受光面的上方形成把光引导到受光面的光波导，和在光波导的上 方形成使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器的步骤，其中，在形成滤色器的 步骤中，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理，由 光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导的步骤中，进行在光波导的核心部分的表面上形成 不规则性的表面处理，以致当在形成滤色器的步骤中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上 的曝光光线在核心部分的面对滤色器的表面上被散射。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种，包括在受光面上接收光，并光 电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷的光电转换部分，把光引导到受光面的光 波导，和使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器，其中滤色器是通过对包含染 料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理形成的，光波导包括由吸 收当在滤色器的形成过程中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线的材料构成 的核心部分。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种，包括在受光面上接收光，并光 电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷的光电转换部分，把光引导到受光面的光波导，和使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器，其中滤色器是通过对包含染 料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理形成的，在光波导的核心 部分的表面上形成不规则性，以致当在滤色器的形成过程中进行曝光处理时照射在光敏树 脂膜上的曝光光线在核心部分的面对滤色器的表面上被散射。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种照相机，包括在受光面上接收光，并光电转 换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷的光电转换部分，把光引导到受光面的光波导， 和使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器，其中滤色器是通过对包含染料的光 敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理形成的，光波导包括由吸收当在 滤色器的形成过程中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线的材料构成的核心 部分。 按照本专利技术的一个实施例，提供一种照相机，包括在受光面上接收光，并光电转 换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷的光电转换部分，把光引导到受光面的光波导， 和使光着色并使着色后的光从其射向光波导的滤色器，其中滤色器是通过对包含染料的光 敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理形成的，在光波导的核心部分的 表面上形成不规则性，以致当在滤色器的形成过程中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上 的曝光光线在核心部分的面对滤色器的表面上被散射。 按照本专利技术的一个实施例，当在形成滤色器的步骤中进行曝光处理时，形成光波 导的核心部分，以致照射在光敏树脂膜上的曝光光线在光波导的核心部分被吸收或者被散 射。 按照本专利技术的一个实施例，能够提供一种其中能够改善所获得图像的画质，并且 能够提高生产效率的，制造该的方法，和包括该 的照相机。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造固态成像装置的方法，包括下述步骤：在基板上形成光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光并光电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷；在受光面的上方形成把光引导到受光面的光波导；和在光波导的上方形成使光着色并使着色后的光射向光波导的滤色器，其中，在形成滤色器的步骤中，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后对光敏树脂膜进行显影处理，由光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导的步骤中，形成光波导的核心部分，以致核心部分吸收当在形成滤色器的步骤中进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：荻野明子，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]