一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜及其制备方法技术

本发明专利技术属于红外镀膜技术领域，公开了一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜，包括对称设置于硫化锌基底两侧的膜系结构，所述膜系结构从所述硫化锌基底内侧至外侧的方向依次为YF<subgt;3</subgt;层、ZnS层、YF<subgt;3</subgt;层、ZnS层、YF<subgt;3</subgt;层、ZnS层、YF<subgt;3</subgt;层、ZnS层、LaF<subgt;3</subgt;层，通过膜系结构的设置，可以提高光学镜片在0.4μm～1.1μm和8μm～12μm波段的平均透过率，并通过各个膜层互相配合提高膜系结构的耐久性。此外，本发明专利技术还公开了上述硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法，通过调整制备工艺和各个工艺参数，提高膜系结构的耐久性和透过率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于红外镀膜，具体涉及增透膜的制备，尤其涉及一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜及其制备方法。

技术介绍

1、硫化锌是一种广泛应用于光学领域的材料，具有优良的光学性能和机械强度。随着科技的发展，对红外光学元件应用范围越来越广泛要求越来越高，对产品镀膜从可见光到远红外都有需求。

2、然而，硫化锌在某些波段的透过率并不理想，尤其是在0.4μm～1.1μm和8μm～12μm波段，这限制了其在光学系统中的应用。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的缺陷和不足，第一方面，本专利技术提供硫化锌超宽带双波段增透保护膜；第二方面，本专利技术提供上述硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法。

2、为实现上述目的，本专利技术提供以下技术方案。

3、第一方面，一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜，包括对称设置于硫化锌基底两侧的膜系结构，所述膜系结构从所述硫化锌基底内侧至外侧的方向依次为yf3层、zns层、yf3层、zns层、yf3层、zns层、yf3层、zns层、laf3层。

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【技术保护点】

1.一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜，其特征在于，包括对称设置于硫化锌基底两侧的膜系结构，所述膜系结构从所述硫化锌基底内侧至外侧的方向依次为YF3层、ZnS层、YF3层、ZnS层、YF3层、ZnS层、YF3层、ZnS层、LaF3层。

2.如权利要求1所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜，其特征在于，所述膜系结构由所述硫化锌基底内侧至外侧的各个膜层的厚度为：YF3层15.93nm、ZnS层404nm、YF3层30.7nm、ZnS层26.56nm、YF3层1168.1nm、ZnS层23.35nm、YF3层20.25nm、ZnS层106.15nm、LaF3层106.30nm。

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【技术特征摘要】

1.一种硫化锌超宽带双波段增透保护膜，其特征在于，包括对称设置于硫化锌基底两侧的膜系结构，所述膜系结构从所述硫化锌基底内侧至外侧的方向依次为yf3层、zns层、yf3层、zns层、yf3层、zns层、yf3层、zns层、laf3层。

2.如权利要求1所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜，其特征在于，所述膜系结构由所述硫化锌基底内侧至外侧的各个膜层的厚度为：yf3层15.93nm、zns层404nm、yf3层30.7nm、zns层26.56nm、yf3层1168.1nm、zns层23.35nm、yf3层20.25nm、zns层106.15nm、laf3层106.30nm。

3.如权利要求1~2任意一项所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

4.如权利要求3所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法，其特征在于，步骤二中，140~160℃加热硫化锌基底15min。

5.如权利要求3或4所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法，其特征在于，步骤二中，预熔膜料时，真空度为3.0×10-3~5.0×10-3pa。

6.如权利要求3所述的硫化锌超宽带双波段增透保护膜的制备方法，其特征在于，步骤三中，清洗硫化锌基底时，真空度为1.0×10-3~2.0×10-3pa；清洗时间为250～...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振，刘克武，蔡宇轩，李满仕，梁献波，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：