【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体离子注入机，具体为一种可防滴落的靶盘涂胶设备。
技术介绍
1、离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。
2、半导体离子注入机靶盘涂胶设备是用于在离子注入过程中，通过胶嘴向靶盘的表面涂敷胶水，从而完成对靶盘的涂胶，市面上大多数的离子注入机上的胶嘴停止排胶后，胶嘴的底部通常都会粘连一部分胶水，而停止出胶的同时工作人员会安装下一个靶盘，如果此时胶嘴底部粘连的胶水滴落至未涂胶的靶盘上，会导致靶盘后续的涂胶出现不均匀的现象，容易导致出现残次品，影响加工良率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种可防滴落的靶盘涂胶设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可防滴落的靶盘涂胶设备，包括机体，所述机体的内壁固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有真空吸盘，所述机体的顶部固定安装有储液箱，所述储液箱的外壁固定安装有水泵，所述水泵的进水端与储液箱的内壁连通，所述机体的顶部固定安装有支臂，所述支臂的顶部固定安装有涂胶嘴，所述支臂的外壁固定安装有出胶管，所述出胶管的一端固定安装在涂胶嘴的内壁，所述出胶管的另一端固定安装在水泵的出水端，所述支臂上设置有防止涂胶嘴滴胶的防护机构，通过设置防护机构可以防止胶水滴落在靶盘上，所述支臂上设置有抽吸机构，通过设置抽吸机构可以将涂胶嘴上残留的胶水吸入抽气筒的内部，避免胶水滴落
3、气缸，所述气缸固定安装在支臂的内壁，所述气缸的活塞端固定安装有横杆，通过设置横杆可以往复推拉连杆与连接杆；
4、摆臂，所述摆臂的三分之一处铰接在支臂的外壁，所述摆臂的底部固定安装有挡罩，通过设置挡罩可以将涂胶嘴罩住，避免涂胶嘴向下滴胶；
5、连杆，所述连杆的一端铰接在横杆的侧壁，所述连杆的另一端铰接在摆臂的顶部。
6、优选的，所述摆臂的数量为两组，两组所述摆臂以支臂为中心轴对称设置在涂胶嘴的两侧，所述挡罩的侧壁固定安装有橡胶圈。
7、优选的，所述抽吸机构包括抽气筒，所述抽气筒固定安装在支臂的侧壁，所述抽气筒的内壁固定安装有抽气管，所述抽气管远离抽气筒的一端固定安装在涂胶嘴的内壁，所述抽气筒的内部通过抽气管与涂胶嘴的内部连通，通过设置抽气筒配合抽气管可以将涂胶嘴内部残留的胶水抽入抽气筒的内部。
8、优选的，所述抽气筒的内壁滑动连接有活塞，所述活塞的外壁与抽气筒的内壁过盈配合。
9、优选的，所述活塞的外壁侧壁固定安装有拉杆，所述拉杆远离活塞的一端贯穿抽气筒铰接有连接杆，且所述拉杆与抽气筒的贯穿处滑动连接，通过设置拉杆可以推拉活塞。
10、优选的，所述连接杆远离拉杆的一端铰接在横杆的侧壁。
11、与现有技术相比，本技术提供了一种可防滴落的靶盘涂胶设备，具备以下有益效果：
12、1、该可防滴落的靶盘涂胶设备，通过气缸带动横杆向下移动，与此同时配合连杆与摆臂可以带动两组挡罩贴合在一起，通过两组挡罩可以将涂胶嘴罩住，避免涂胶嘴上残留的胶水滴落至靶盘上。
13、2、该可防滴落的靶盘涂胶设备，通过气缸带动横杆向下移动，同时配合连接杆、拉杆、活塞、抽气筒、抽气管可以将涂胶嘴内部的空气向抽气筒的内部抽入，如果此时涂胶嘴内部残留有胶水，那么通过抽气管的抽气可以带动残留的胶水进入抽气筒的内部，避免胶水残留在涂胶嘴上，进而可以避免了涂胶嘴向下滴落胶水。
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1.一种可防滴落的靶盘涂胶设备，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内壁固定安装有电机(2)，所述电机(2)的输出端固定安装有真空吸盘(3)，所述机体(1)的顶部固定安装有储液箱(4)，所述储液箱(4)的外壁固定安装有水泵(5)，所述水泵(5)的进水端与储液箱(4)的内壁连通，所述机体(1)的顶部固定安装有支臂(6)，所述支臂(6)的顶部固定安装有涂胶嘴(7)，所述支臂(6)的外壁固定安装有出胶管(8)，所述出胶管(8)的一端固定安装在涂胶嘴(7)的内壁，所述出胶管(8)的另一端固定安装在水泵(5)的出水端，所述支臂(6)上设置有防止涂胶嘴(7)滴胶的防护机构(9)，所述支臂(6)上设置有抽吸机构(10)，所述防护机构(9)包括：
2.根据权利要求1所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述摆臂(92)的数量为两组，两组所述摆臂(92)以支臂(6)为中心轴对称设置在涂胶嘴(7)的两侧，所述挡罩(94)的侧壁固定安装有橡胶圈(96)。
3.根据权利要求1所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述抽吸机构(10)包括抽气筒(101)，所
4.根据权利要求3所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述抽气筒(101)的内壁滑动连接有活塞(103)，所述活塞(103)的外壁与抽气筒(101)的内壁过盈配合。
5.根据权利要求4所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述活塞(103)的外壁侧壁固定安装有拉杆(104)，所述拉杆(104)远离活塞(103)的一端贯穿抽气筒(101)铰接有连接杆(105)，且所述拉杆(104)与抽气筒(101)的贯穿处滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述连接杆(105)远离拉杆(104)的一端铰接在横杆(95)的侧壁。
...【技术特征摘要】
1.一种可防滴落的靶盘涂胶设备，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内壁固定安装有电机(2)，所述电机(2)的输出端固定安装有真空吸盘(3)，所述机体(1)的顶部固定安装有储液箱(4)，所述储液箱(4)的外壁固定安装有水泵(5)，所述水泵(5)的进水端与储液箱(4)的内壁连通，所述机体(1)的顶部固定安装有支臂(6)，所述支臂(6)的顶部固定安装有涂胶嘴(7)，所述支臂(6)的外壁固定安装有出胶管(8)，所述出胶管(8)的一端固定安装在涂胶嘴(7)的内壁，所述出胶管(8)的另一端固定安装在水泵(5)的出水端，所述支臂(6)上设置有防止涂胶嘴(7)滴胶的防护机构(9)，所述支臂(6)上设置有抽吸机构(10)，所述防护机构(9)包括：
2.根据权利要求1所述的一种可防滴落的靶盘涂胶设备，其特征在于：所述摆臂(92)的数量为两组，两组所述摆臂(92)以支臂(6)为中心轴对称设置在涂胶嘴(7)的两侧，所述挡罩(94)的侧壁固定安装有橡胶圈(96)。
3.根据权利要求1所述的一种可防滴落的靶...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋义兵，张伟，杨洋，
申请(专利权)人：扬州信尚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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