扩散炉的框架结构及扩散炉制造技术

本技术公开了一种扩散炉的框架结构及扩散炉，涉及扩散炉技术领域。该扩散炉的框架结构包括支撑架、隔热组件和电气安装板，支撑架包括炉体安装区域和电气元件安装区域。隔热组件设于炉体安装区域和电气元件安装区域之间，隔热组件用于隔离炉体安装区域中的热量。电气安装板设于电气元件安装区域内，且电气安装板与隔热组件间隔设置。本技术提供的扩散炉的框架结构，不仅通过隔热组件对炉体安装区域内的热量进行物理隔热，阻挡热量向电气元件安装区域传递；而且通过将电气安装板与隔热组件间隔设置进行空气隔热，有效降低了热量的传递速度，相对于现有技术中的扩散炉的框架结构隔热效果更好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及扩散炉，尤其涉及一种扩散炉的框架结构及扩散炉。

技术介绍

1、目前，太阳能电池片制作中硼扩散制备发射极，通常有四种方法：管式bbr3或bcl3扩散，旋涂硼源+扩散，apcvd硼源+扩散和离子注入+退火。其中管式扩散由于性价比高，可以避免金属离子污染，使用寿命较高，易于实现等特点而成为主流的硼扩散技术，管式扩散工艺通常在扩散炉中进行。

2、在扩散炉的炉体的石英管内实现硼扩散，炉体安装在扩散炉框架的正面，扩散炉框架起着支撑炉体的作用，在扩散炉框架的背面还需要放置电气元件，电气元件控制炉体的温度。由于在炉体工作的时候，其反应温度会达到1000℃以上，需要进行相应的隔热措施。目前现有的扩散炉框架在立体的隔热效果上不充分，炉体内的高温会传递出来，损坏到扩散炉框架上的电气元件。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提出一种扩散炉的框架结构及扩散炉，能够起到更好的隔热效果。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、扩散炉的框架结构，其包括：

4、支撑架，包括炉体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.扩散炉的框架结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述隔热组件包括隔热体和两个分隔板(2)，两个所述分隔板(2)之间形成空腔，所述隔热体设于所述空腔内。

3.根据权利要求2所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述隔热体包括隔热棉。

4.根据权利要求1所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述支撑架(1)还包括维修区域(103)，所述维修区域(103)设于所述电气元件安装区域(102)的两端，且所述维修区域(103)与所述炉体安装区域(101)连通。

5.根据权利要求4所述的扩散炉的框架结构，其特征...

【技术特征摘要】

1.扩散炉的框架结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述隔热组件包括隔热体和两个分隔板(2)，两个所述分隔板(2)之间形成空腔，所述隔热体设于所述空腔内。

3.根据权利要求2所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述隔热体包括隔热棉。

4.根据权利要求1所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述支撑架(1)还包括维修区域(103)，所述维修区域(103)设于所述电气元件安装区域(102)的两端，且所述维修区域(103)与所述炉体安装区域(101)连通。

5.根据权利要求4所述的扩散炉的框架结构，其特征在于，所述维修区域(103)靠近所述电气元件安装区域(102)的一端和远离所述电气元件安装区域(102)的一端均设置有侧封板(4)。

6.根据权利要求1所述的扩散炉的框架结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，李鹏飞，张才琪，张宇，
申请(专利权)人：浙江晶盛光子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：