【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子封装,尤其涉及软钎料制粉装置及制粉方法。
技术介绍
1、微电子封装中,调制共晶焊接浆料通常使用金锡和锡铅等软钎料粉末。其中,软钎料粉末的粒径通常小于10um,软钎料粉末常通过球磨、等离子和高压水雾化这三种方法进行制备。
2、例如,公开号为cn117531596a的专利公开一种干法快磨制粉装置,公开号为cn116921685a的专利公开了一种利用微波等离子体制备粉末的方法和装置,公开号为cn117583615a的专利公开了一种基于悬浮熔炼的离心盘雾化制备装置及方法,这三个专利分别采用研磨、等离子和雾化的方法制取粉末,但这些方法在制备粉末的过程中,都没有对金属的氧化进行过程还原,这会导致软钎料粉末在制备过程中出现不同程度氧化。
3、而微电子封装中用的共晶焊接浆料由于不使用助焊剂,所以其对粉末的纯度要求较高,同时对氧化物控制也提出了更高要求。但常规方法制备的软钎料粉末由于过程中没有对氧化物进行还原,所以其会存在不同程度氧化;且由于软钎料粉末的体积小,表面积大,所以如果软钎料粉末的氧化得不到较好控制,
...【技术保护点】
1.一种软钎料制粉装置,其特征在于,包括缸体(1),所述缸体(1)的上端设置有用于装入或取出运动分散液材料(8)、还原助剂和软钎料的缸口,所述缸体(1)上设置有用于充入保护气的气体充入口(4);
2.根据权利要求1所述的软钎料制粉装置,其特征在于,所述缸体(1)的中部竖直设置有中空的圆柱体,所述搅拌装置包括转动连接在所述圆柱体内的传动轴(6),所述传动轴(6)的下端穿过所述缸体(1)的下部后连接有转动驱动机构,所述传动轴(6)的上端固定连接有安装支架(7),所述安装支架(7)竖向固定连接有若干向所述缸体(1)底部延伸的搅拌棒(3)。
3.根据权
...【技术特征摘要】
1.一种软钎料制粉装置,其特征在于,包括缸体(1),所述缸体(1)的上端设置有用于装入或取出运动分散液材料(8)、还原助剂和软钎料的缸口,所述缸体(1)上设置有用于充入保护气的气体充入口(4);
2.根据权利要求1所述的软钎料制粉装置,其特征在于,所述缸体(1)的中部竖直设置有中空的圆柱体,所述搅拌装置包括转动连接在所述圆柱体内的传动轴(6),所述传动轴(6)的下端穿过所述缸体(1)的下部后连接有转动驱动机构,所述传动轴(6)的上端固定连接有安装支架(7),所述安装支架(7)竖向固定连接有若干向所述缸体(1)底部延伸的搅拌棒(3)。
3.根据权利要求2所述的软钎料制粉装置,其特征在于,所述传动轴(6)的上端与所述安装支架(7)可拆卸连接。
4.根据权利要求2所述的软钎料制粉装置,...
【专利技术属性】
技术研发人员:文泽海,陈昊璋,曾策,徐榕青,向伟玮,卢茜,赵明,伍艺龙,何子均,罗建强,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第二十九研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。