铁电存储器及三维铁电存储装置制造方法及图纸

一种铁电存储器及三维铁电存储装置，该铁电存储器包括第一字线、第二字线、第一位线、第二位线和板线；多个存储单元，每个存储单元包括：第一晶体管、第二晶体管、第一导线以及多个铁电电容；其中，第一晶体管的控制端与第一字线连接，第一晶体管的第一端与第一导线连，第一晶体管的第二端与第一位线连接；第二晶体管的控制端与第二字线连接，第二晶体管的第二端与第一导线连接，第二晶体管的第二端与第二位线连接；铁电电容的第一端与第一导线连接，铁电电容的第二端与板线连接。铁电存储器在垂直于衬底的方向上堆叠，可以提升存储密度，提高铁电存储器的存储容量。此外，第一晶体管和第二晶体管共同选择存储单元，可以提高存储单元的控制精度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及集成电路，特别是涉及一种铁电存储器及包含有该铁电存储器的三维铁电存储装置。

技术介绍

1、随着信息技术的发展，对存储器提出了低延时、大容量的需求。其中，低延时有助于提高数据处理速度。大容量有助于提高存储密度，以及节省存储器制造成本。

2、铁电存储器为一种新型存储器，因其具有存储数据非易失，且存取速率快的特点，受到了广泛的关注。但是，当前的铁电存储器大多为平面结构，受器件物理尺寸和特性的影响，平面结构的铁电存储器的缩放速度逐渐放缓，存储密度难以进一步提升，因此提升铁电存储器的存储密度和容量是目前铁电存储器的发展难点。

技术实现思路

1、基于此，本申请实施例提供了一种铁电存储器以及包含有该铁电存储器的三维铁电存储装置，具有较高的存储密度。

2、第一方面，本申请根据一些实施例，提供一种铁电存储器，其特征在于，包括：

3、第一字线、第二字线、第一位线、第二位线以及板线；

4、多个存储单元，每个所述存储单元包括：

5、第一晶体管、第二晶体管、第一导线本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铁电存储器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的铁电存储器，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的铁电存储器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的铁电存储器，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的铁电存储器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的铁电存储器，其特征在于，

7.一种铁电存储器，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的铁电存储器，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的铁电存储器，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的铁电存储器，其特征在于，<...

【技术特征摘要】

1.一种铁电存储器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的铁电存储器，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的铁电存储器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的铁电存储器，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的铁电存储器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的铁电存储器，其特征在于，

7.一种铁电存储器，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的铁电存储器，其特征在于，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐怡，谈亚丽，李辉辉，袁子豪，
申请(专利权)人：长鑫科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：