【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于一种搬送装置、搬送设备及搬送系统,尤指一种可搬送收纳盒与收纳盒中的料件的搬送方法、搬送装置及使用该搬送装置的搬送设备、搬送系统。
技术介绍
1、已知半导体工艺中常将例如基板或载有基板的载盘…等料件以多个分层叠放于一个收纳盒内作搬送,并将收纳盒内的料件逐一送入工艺设备进行加工或检测;专利号第cn211267573u号「一种新型电路板自动上料设备」已公开一种搬送装置,其以循环上下料机构控制电路板叠料盒的进盒与出盒,该循环上下料机构包括进盒传动组件、出盒传动组件及抓取升降组件,该电路板叠料盒在该进盒传动组件上受传动带传动而由远离该抓取升降组件的一端朝靠近该抓取升降组件的一端输送作进盒,当该电路板叠料盒输送至靠近该抓取升降组件的一端时,该抓取升降组件的夹爪先向前位移抓取该电路板叠料盒,再向后位移至预顶板的位置,并以该预顶板逐一将该电路板叠料盒内部所有电路板推出该电路板叠料盒至工艺设备,待该电路板叠料盒内部所有电路板皆被推出后该夹爪再下降到出盒传动组件位置,并再向前位移将空的该电路板叠料盒放置在出盒传动组件上,使空的该电路板叠料盒
...【技术保护点】
1.一种搬送装置,设有:
2.如权利要求1所述的搬送装置,其中,该送料暂存机构设有在水平方向上相隔间距的的两送料置架,该送料搬送机构设于两该置架之间;该送料暂存机构在所述送料置架上设有多个送料暂存区;该送料搬送机构设有可驱动该收纳盒升降的一送料升降机构,与可驱动该送料升降机构由其中一个送料暂存区位移至另一个送料暂存区的一送料驱动轨座;该收料暂存机构设有在水平方向上相隔间距的的两收料置架,该收料搬送机构设于两该置架之间;该收料暂存机构在所述置架上设有多个收料暂存区;该收料搬送机构设有可驱动该收纳盒升降的一收料升降机构,与可驱动该收料升降机构由其中一个收料暂存
...【技术特征摘要】
1.一种搬送装置,设有:
2.如权利要求1所述的搬送装置,其中,该送料暂存机构设有在水平方向上相隔间距的的两送料置架,该送料搬送机构设于两该置架之间;该送料暂存机构在所述送料置架上设有多个送料暂存区;该送料搬送机构设有可驱动该收纳盒升降的一送料升降机构,与可驱动该送料升降机构由其中一个送料暂存区位移至另一个送料暂存区的一送料驱动轨座;该收料暂存机构设有在水平方向上相隔间距的的两收料置架,该收料搬送机构设于两该置架之间;该收料暂存机构在所述置架上设有多个收料暂存区;该收料搬送机构设有可驱动该收纳盒升降的一收料升降机构,与可驱动该收料升降机构由其中一个收料暂存区位移至另一个收料暂存区的一收料驱动轨座。
3.如权利要求2所述的搬送装置,其中,所述送料置架在各该送料暂存区周围设有多个可限制该收纳盒在该送料暂存区作水平位移的定位件;所述收料置架在各该收料暂存区周围设有多个可限制该收纳盒在该收料暂存区作水平位移的定位件。
4.如权利要求2所述的搬送装置,其中,该收纳盒受该送料搬送机构以先上升后平移再下降的方式间歇移动朝该移载单元方向搬送;该收纳盒受该收料搬送机构以先上升后平移再下降的方式间歇移动朝远离该移载单元方向搬送。
5.一种搬送设备,使用如权利要求1至4中任一权利要求所述的搬送装置;该搬送设备在一机台上设有可选择性输送该收纳盒内的一料件至不同输送流道的一送料转移单元;该送料单元、该收料单元、及该移载单元同设于该机台上;该送料转移单元设有可输送该料件的一送料转移流道,与可选择性驱动该送料转移流道位移的一送料转移轨座;该移载单元的一侧设有可自该收纳盒推出该料件至该送料转移流...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛全萌,谢承轩,张群亭,
申请(专利权)人:万润科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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